Исследование антифрикционных упрочняющих покрытий для применения в парах трения микрокриогенных систем (2012)
Рассмотрены методы упрочняющих антифрикционных покрытий, способы их формирования применительно к деталям трения микрокриогенных систем Стирлинга.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№2 (2012)
Исследование индиевых столбчатых контактов при помощи электронной микроскопии (2015)
Исследованы индиевые столбчатые микроконтакты для гибридных матричных фотоприемных устройств (МФПУ) инфракрасного диапазона, состоящих из матрицы фоточувствительных элементов и кремниевого мультиплексора, состыкованных между собой. Показано, что индиевые столбики высотой 12 микрометров и более могут быть получены посредством последовательного проведения стандартных операций фотолитографии и химического травления, имеют шероховатость порядка 1 мкм и могут использоваться для операции стыковки в процессе изготовления МФПУ.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№3 (2015)