Исследование процесса ионно-лучевой полировки поверхности оптических деталей приборов (2012)
Выпуск:
№2 (2012)
Представлены результаты экспериментального исследования процесса ионно-лучевой обработки с целью полировки поверхности оптического ситалла. Облучение образцов проводили ионами Ar+ с энергиями 10—30 кэВ. Топографию поверхности исследовали с помощью зондового микроскопа FemtoScan. Показано, что азимутальное вращение облучаемого образца подавляет развитие волнообразного рельефа и дает эффект полировки — шероховатость поверхности уменьшается от исходного уровня Ra ~ 1 нм до 0,5 нм.