Статья: Исследование процесса ионно-лучевой полировки поверхности оптических деталей приборов (2012)

Читать онлайн

Представлены результаты экспериментального исследования процесса ионно-лучевой обработки с целью полировки поверхности оптического ситалла. Облучение образцов проводили ионами Ar+ с энергиями 10—30 кэВ. Топографию поверхности исследовали с помощью зондового микроскопа FemtoScan. Показано, что азимутальное вращение облучаемого образца подавляет развитие волнообразного рельефа и дает эффект полировки — шероховатость поверхности уменьшается от исходного уровня Ra ~ 1 нм до 0,5 нм.

The results of experimental study of the ion-beam treatment process with the view of polishing the optical glass-ceramics surfaces have been presented. Ion irradiation has been produced by 10— 30 keV Ar+ ions. Developed surface topography has been studied using FemtoScan. It is shown that the azimutal rotation of the irradiated sample suppresses the wave structure (ripples) and gives the effect of polishing — surface roughness is decreased from initial level Ra ~ 1 nm till 0.5 nm.

Ключевые фразы: оптический ситалл, РАСПЫЛЕНИЕ, ионная полировка, рельеф поверхности
Автор (ы): Андрианова Наталья Николаевна (Andrianova N. N.), Борисов Анатолий Михайлович, Боровская Виктория Владимировна, Машкова Евгения Сергеевна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
53. Физика
Для цитирования:
АНДРИАНОВА Н. Н., БОРИСОВ А. М., БОРОВСКАЯ В. В., МАШКОВА Е. С. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ИОННО-ЛУЧЕВОЙ ПОЛИРОВКИ ПОВЕРХНОСТИ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ ПРИБОРОВ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2012. №2
Текстовый фрагмент статьи
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.