Доклад: Полирование пластин GaAs диаметром 2 дюйма и ориентации (100) и (013) с достижением шероховатости поверхности Ra≤0,15 нм

Докладчик
Бондарев Виктор Павлович
АО ″НПО ″ОРИОН″
Автор(ы)
Бондарев В.П., Кондрахин А. С., Малахин Г.П., Нестюркин М.С.
Соавтор(ы)
Журавлев Е.О., Хихеев Н.Г.
Тип доклада
Устный

Статистика доклада

Статистика просмотров за 2026 год.

Обсуждение доклада

Новых тем пока нет

Создайте тему для обсуждения, если у вас есть вопросы или предложения по докладу.

Другие доклады секции: 19
12:45 | Полирование пластин GaAs диаметром 2 дюйма и ориентации (100) и (013) с достижением шероховатости поверхности Ra≤0,15 нм
Бондарев Виктор ПавловичАО ″НПО ″ОРИОН″
13:00 | Обеденный перерыв