Доклад: Полирование пластин GaAs диаметром 2 дюйма и ориентации (100) и (013) с достижением шероховатости поверхности Ra≤0,15 нм
Докладчик
АО ″НПО ″ОРИОН″
Соавтор(ы)
Журавлев Е.О., Хихеев Н.Г.
Тип доклада
Устный
Секция программы
Дата и время
пятница, 06 фев (начало в 12:45)
Статистика доклада
Статистика просмотров за 2026 год.
Обсуждение доклада
Новых тем пока нет
Создайте тему для обсуждения, если у вас есть вопросы или предложения по докладу.
Другие доклады секции: 19
12:45 |
Полирование пластин GaAs диаметром 2 дюйма и ориентации (100) и (013) с достижением шероховатости поверхности Ra≤0,15 нм
13:00 |
Обеденный перерыв