Доклад: Аммиачная молекулярно-пучковая эпитаксия гетероструктур AlGaN p-i-n фотодиодов на пластинах до 100 мм и их характеристики для солнечно-слепых ультрафиолетовых фотоприемников

Шохонов Д.А., Урманов Б.Д., Войнилович А.Г., Нагорный А.В., Юник А.Д., Соловьев Я.А., Березина Д.С., Смирнова И.П., Контрош Е.В., Прудченко К.К., Кулагина М.М.