Статья: МЕЖДУНАРОДНЫЙ СИМПОЗИУМ ПО ПУЧКОВЫМ ТЕХНОЛОГИЯМ (ИОННЫМ, ЭЛЕКТРОННЫМ, ПЛАЗМЕННЫМ) (1996)

Читать онлайн

Рассмотрены области применения ионных пучков и плазмы. Обсуждены тезисы докладов по источникам быстрых ионов и атомов, ионным и плазменным ускорителям, физике и материаловедению ионной имплантации, ионно-пучковой обработке диэлектриков, модификации материалов высокоэнергетическими ионами, получению алмазоподобных пленок и сверхтонких мишений. Проведено обобщение представленных результатов

The areas of applications for ion beams and plasma have been considered. Abstracts dealing with the development and study of fast ion and atomic beam sources (9 in number), ion and plasma accelerators (10), physics and material study in implantation metallurgy (27), ion beam treatment of dielectrics (8), high energy (10–335 MeV) ion modification of materials (11), production of diamond-like films and superthin targets (3) have been considered. Generalization of the produced results has been done

Ключевые фразы: плазма, ионные пучки, физика и моделирование ионной имплантации
Автор (ы): Плешивцев Н. В. (Pleshivtsev N. V.)
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.951. Колебания плазмы. Резонансные колебания в плазме. Ударные волны
Для цитирования:
ПЛЕШИВЦЕВ Н. В. МЕЖДУНАРОДНЫЙ СИМПОЗИУМ ПО ПУЧКОВЫМ ТЕХНОЛОГИЯМ (ИОННЫМ, ЭЛЕКТРОННЫМ, ПЛАЗМЕННЫМ) // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 1996. №2
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (5)