Рассмотрены области применения ионных пучков и плазмы. Обсуждены тезисы докладов по источникам быстрых ионов и атомов, ионным и плазменным ускорителям, физике и материаловедению ионной имплантации, ионно-пучковой обработке диэлектриков, модификации материалов высокоэнергетическими ионами, получению алмазоподобных пленок и сверхтонких мишений. Проведено обобщение представленных результатов
The areas of applications for ion beams and plasma have been considered. Abstracts dealing with the development and study of fast ion and atomic beam sources (9 in number), ion and plasma accelerators (10), physics and material study in implantation metallurgy (27), ion beam treatment of dielectrics (8), high energy (10–335 MeV) ion modification of materials (11), production of diamond-like films and superthin targets (3) have been considered. Generalization of the produced results has been done
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика