Методы оптической эмиссионной спектроскопии (400-900 нм) и реабсорбции использованы для диагностики водородной СВЧ·плазмы с малыми добавками СН4, Аг, Хе, N2 и воздуха при полном давлении 0,5–5 торр. Полная поглощенная плазмой мощность 1-55 Вт. Зависимость изменения интенсивностей излучения водородных линий от типа газовой добавки может быть связана с изменением условий баланса заряженных частиц. Показано влияние предварительной обработки поверхности разрядной трубки на концентрации возбужденных частиц плазмы. Обсуждаются ограничения метода актинометрии
The optical emission spectroscopy (400-900 nm) and self-absorption method have been used for diagnostics of hydrogen microwave plasma with small admixtures of СН4, Ar, Хе, N2, and air at total pressures ranged between 0,5 and 5 torr. The total plasma absorbed powers were 1-55 W. The observed variations in the insities of atomic hydrogen emission with the kind of admixture can bе related with the changing ln the conditions of the charge particles balance. The influence of discharge tube surface pretreatment was shown оn the concentrations of excited particles. Limitations of actinometry method have been discussed
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика