Методами растровой электронной микроскопии проведены исследования матриц фоточувствительных элементов и мультиплексоров, используемых для изготовления инфракрасных матричных фотоприемных устройств, после нанесения на них индиевых микроконтактов. Контакты формировались двумя различными способами: классическим и экспериментальным (с одним «взрывом»). Исследования позволили выявить различные типы дефектов и причины их возникновения. Проведено сравнение двух способов изготовления микроконтактов с целью определения оптимального для повышения процента выхода годных фотоприемных устройств.
We used scanning electron microscopy for investigation of indium microcontacts quality before FPA and ROIC hybridization. Two different technologies of microcontacts formation using one and two indium explosives were analyzed. Conclusions about different technologies efficiency were made from snapshots of different defects in indium microcontacts and displacements of microcontacts position relatively to elements in photosensitive arrays. Also we analyzed reasons of defects occurrence. Optimal technology was determined. This research helps us to improve the technology of FPA development and to increase passthrough yield of FPAs.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 41264555
Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.