Проанализировано современное состояние твердотельной фотоэлектроники, представлены результаты и перспективы проведения научных исследований с целью создания фотоприемных устройств (ФПУ) новых поколений. В работе рассматриваются характеристики как выпускаемых серийно, так и вновь разрабатываемых ФПУ, детектирующих излучение в различных спектральных диапазонах ИК области спектра на основе полупроводниковых материалов групп А3В5 и А2В6, а именно: структуры на основе соединений сурьмы в диапазоне 3–5 мкм; QWIP-структуры GaAs/AlGaAs в диапазоне 7,8–9,3 мкм; структуры HgCdTe – в диапазонах 3–5 и 8–12 мкм; XBn-структуры InGaAs в диапазоне 0,9–1,7 мкм. Показаны наиболее близкие зарубежные аналоги и определены пути дальнейшего улучшения их характеристик.
The current state of solid-state photosensorics, the scientific researches and results, and the investigations directed at the production of new generation photosensitive devices have been analyzed. This review considers FPAs and systems, detecting radiation in the various spectral ranges of the infrared (IR) region based on semiconductor materials of the A3B5 and A2B6 groups, such as: antimony compound structures in the range of 3–5 m; GaAs/AlGaAs QWIP-structures in the range of 7.8–9.3 m; HgCdTe structures in the ranges of 3–5 and 8–12 m; InGaAs XBn-structures in the range of 0.9–1.7 m. The simi-lar foreign and russian analogues devices are presented. The further ways of the perfor-mance improvement have been shown.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- Префикс DOI
- 10.51368/2307-4469-2025-13-5-378-419
Для высокотемпературных МФПУ наиболее подходящими по параметрам останутся полупроводниковые материалы группы А3В5, двойные и тройные соединения семейства антимонидов: InAs/GaSb, InAs/GaAsSb и InAs/InAsSb, являющихся конструктивной ос-новой многих изделий твердотельной фотоэлектроники.
Список литературы
- Bovina L. A., Boltar K. O., Iakovleva N. I., Burlakov I. D., Golovin S. V., Ivanov V. I., Saginov V. I., Stafeev L. D., Akimov V. M., Sidorov Y. G. / Proceeding SPIE. 2000. Vol. 4340. P. 23–26.
- Boltar K. O., Burlakov I. D., Golovin S. V., Saginov L. D., Akimov V. M., Iakovleva N. I. / Proceedings of SPIE. 2005. Vol. 5957. P. 59570H1-59570H6.
- Boltar K. O., Burlakov I. D., Ponomarenko V. P., Klimanov E. A., Akimov V. M., Iakovleva N. I. / Optical Memory and Neural Networks (Information Optics), Allerton Press. Inc. 2008. Vol. 17. № 1. P. 52–61.
- Бурлаков И. Д., Кузнецов П. А., Мощев И. С., Болтарь К. О., Яковлева Н. И. / Успехи прикладной физики. 2017. Т. 5. № 4. С. 383–392.
- Яковлева Н. И., Болтарь К. О., Седнев М. В., Никонов А. В. / Успехи прикладной физики. 2016. Т. 4. № 5. С. 465–470.
- Болтарь К. О., Власов П. В., Лазарев П. С., Лопухин А. А., Чишко В. Ф. / Прикладная физика.2020. № 1. С. 18–24.
- Болтарь К. О., Яковлева Н. И., Лопухин А. А., Власов П. В. / Прикладная физика. 2021. № 6. С. 30–40.
- www.techradar.com›cameras/infiray-xinfrared-p2-pro-review
- www.yukonopticsglobal.com
- Rubaldo L., Taalat R., Berthoz J., Maillard M., Péré-Laperne N., Brunner A., Guinedor P., Dargent L., Manissadjian A., Reibel Y., Kerlain A. / Proc. of SPIE. 2017. Vol. 10177. Р. 101771E.
- Бакаров А. К., Гутаковский А. К., Журав-лев К. С., Ковчавцев А. П., Торопов А. И., Бурла-ков И. Д., Болтарь К. О., Власов П. В., Лопухин А. А. / Журнал технической физики. 2017. Т. 87. Вып. 6.
С. 900–904. - Бурлаков И. Д., Болтарь К. О., Власов П. В., Лопухин А. А., Торопов А. И., Журавлев К. С., Фадеев В. В. / Прикладная физика. 2016. № 3. С. 58–64.
- Klipstein P. C. / Proc. of SPIE. 2008. Vol. 6940.
P. 6940-2U. - Kulikov V. B., Maslov D. V., Sabirov А. R., Solodkov А. А., Dudin А. L., Katsavets N. I., Kogan I. V., Shukov I. V., Chaly V. P. / Semiconductors. 2018. Vol. 52. № 13. P. 1636.
- Martyniuk P., Rogalski A. / Infrared Technology and Applications XXXIX. SPIE. 2013. Vol. 8704. P. 564–572.
- Емельянов Е. А., Васев А. В., Семягин Б. Р., Есин М. Ю., Лошкарев И. Д., Василенко А. П., Пу-тято М. А., Петрушков М. О., Преображенский В. В. / Физика и техника полупроводников. 2019. Т. 53. Вып. 4. C. 512–519.
- Суханов М. А., Бакаров А. К., Прота-сов Д. Ю., Журавлев К. С. / Письма в Журнал техниче-ской физики. 2020. Т. 46. Вып. 4. С. 3–6.
doi: 10.21883/PJTF.2020.04.49040.18055. - Ерошенко Г. Н., Кривобок В. С., Минаев И. И., Клековкин А. В., Савин К. А., Гончаров А. Е., Мура-тов А. В., Дубовая А. Р., Пручкина А. А., Николаев С. Н. / Прикладная физика. 2024. № 5. С. 64–68.
- Савин К. А., Клековкин А. В., Минаев И. И., Ерошенко Г. Н., Кривобок В. С., Свиридов Д. Е., Гончаров А. Е., Николаев С. Н. / Письма в ЖТФ. 2024. Т. 50. Вып. 19. С. 33–35.
- Болтарь К. О., Лопухин А. А., Власов П. В., Яковлева Н. И. / Успехи прикладной физики. 2022. Т. 10. № 4. С. 381–388.
- Куликов В. Б., Маслов Д. В., Сабиров А. Р., Барабанов А. Б., Кацавец Н. И., Чалый В. П., Шуков И. В. / Прикладная физика. 2020. № 3. С. 27–32.
- Gershon G., Albo A., Eylon M., Cohen O., Calahorra Z., Brumer М., Nitzani M., Avnon E., Aghion Y., Kogan I., Ilan E., Tuito A., Ben Ezra M., Shkedy L. Large format InSb infrared detector with 10 μm pixels / OPTRO-2014-2931891.
- Tidrow M. Z., Beck W. A., Clark W. W., Pollehn H. K., Little J. W., Dhar N. K., Leavitt P. R. et al. / Opto-Electronics Review. 1999. № 7. P. 283–296.
- Rogalski A. / OptoElectronics Review. 2006. № 14. P. 87–101.
- Rogalski A. / J. Appl. Phys. 2003. № 93. P. 4355–4391.
- Runtz M., Perrier F., Ricard N., Costard E., Nedelcu A., Guériaux V. / Proc. of SPIE. 2012. Vol. 8353. P. 835339.
- Gunapala S. D. et. al. / IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics. 2014. Vol. 20. № 6.
P. 3802312. - Куликов В. Б., Чалый В. П. / Физика и техника полупроводников. 2014. Т. 48. Вып. 2. С. 225–228.
- Cocle O., Gauthier F-H., Quilghini G., Bois P. F., Costard E. M. / Proc. of SPIE. 2003. Vol. 5074. Р. 715.
- Болтарь К. О., Бурлаков И. Д., Власов П. В., Лопухин А. А., Чалый В. П., Кацавец Н. И. / Приклад-ная физика. 2016. № 6. С. 37–41.
- Протасов Д. Ю., Журавлев К. С. / Фотоника 2017: тез. докл. Рос. конф. и шк. молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фото-электроники (с участием ин. ученых), Новосибирск, 11–15 сент. 2017 г. – Новосибирск: Bн-т физики по-лупроводников им. А. В. Ржанова, 2017. С. 121.
ISBN 978-5-4437-0673-3. - Protasov D. Y., Kablukova E. G., Sabelfeld K. K., Zhuravlev K. S. / Марчуковские науч-ные чтения–2021: тез. междунар. конф., 4–8 окт. 2021 г. – Новосибирск: Ин-т вычисл. математики и мат. геофизики СО РАН, 2021. С. 67. doi: 0.24412/CL-35064-2021-078.
- Кульчицкий Н. А., Наумов А. В., Старцев В. В. / Фотоника. 2022. Т. 16. № 1. С. 22–36.
- Солодков А. А., Тарасов В. В., Куликов В. Б. Фотоприемник на основе структуры с квантовыми ямами. Патент RU 2589759 (РФ). 2016.
35. Дудин А., Кацавец Н., Красовицкий Д., Фила-ретов А., Чалый В. / Электроника: наука | технология | бизнес. 2022. № 2 (00213). С. 114–119. - Rogalski A., Martyniuk P., Kopytko M. / Rep. Prog. Phys. 2016. Vol. 79. P. 046501.
- Rodot M., Verie C., Marfaing Y., Besson J., Leb-
loch H. / IEEE J. Quantum. Electron. 1966. № 2. P. 586–593. - Vuillermet M., Billon-Lanfrey D., Reibel Y., Manissadjian A., Mollard L., Baier N., Gravrand O., Destéfanis G. / Proc. of SPIE. 2012. Vol. 8353. P. 83532K.
- Lutz H., Breiter R., Eich D., Figgemeier H., Fries P., Rutzinger S., Wendler J. / Proc. of SPIE. 2016. Vol. 9819. P. 98191Y.
- Kinch M. A. / Proc. of SPIE. 2001. Vol. 4369.
P. 566–578. - Baker I. M., Crimes G. J., Parsons J. E., O’Keefe E. S. / Proc. of SPIE. 1994. Vol. 2269. P. 636–647.
- William L. A. Planar Double-Layer Heterojunction HgCdTe Photodiodes And Methods For Fabrication Same. Patent US0051S9297A. (US). 1993.
- Castelein P., Baier N., Gravrand O., Mollard L., Brellier D., Rochette F., Kerlain A., Rubaldo L., Reibel Y., Destéfanis G. / Proc. of SPIE. 2014. Vol. 9070. P. 90702Y.
- Bai Y., Bajaj J., Beletic J. W., Farris M. C., Joshi A., Lauxtermann S., Petersen A., Williams G. / Proc. of SPIE. 2008. Vol. 7201. P. 702102.
- Bezawada N., Ives D., Woodhouse G. / Proc. of SPIE. 2004. Vol. 5499. P. 23–34.
- Arias J. M., Pasko J. G., Zandian M., Shin S. H., Williams G. M., Bubulac L. O., DeWames R. E., Ten-
nant W. E. / J. Electron. Mater. 1993. № 22. P. 1049–1053. - Мынбаев К. Д., Иванов-Омский В. И. / ФТП. 2006. Т. 40. Вып. 1. С. 3–22.
- Reibel Y., Pere-Laperne N., Augey T., Rubaldo L., Decaens G., Bourqui M L., Manissadjian A., Billon-Lanfrey D. et al. / Proc. of SPIE. 2014. Vol. 9070. P. 907034.
- Reibel Y., Péré-Laperne N., Rubaldo L., Augey T., Decaens G., Badet V., Baud L., Roumegoux J., Kessler A., Maillart P., Ricard N., Pacaud O., Destéfanis G. / Proc. of SPIE. 2015. Vol. 9451. P. 94512E.
- Breiter R., Eich D., Figgemeier H., Lutz H., Wendler J., Rühlich I., Rutzinger S., Schallenberg T. / Proc. of SPIE. 2014. Vol. 9070. P. 90702V.
- Tennant W. E., Lee D., Zandian M., Piquette E., Carmody M. / J. Electron. Mater. 2008. Vol. 37. № 9. Р. 1406–1410.
- Lee D., Dreiske P., Ellsworth J., Cottier R., Chen A., Tallaricao S., Yulius A., Carmody M., Piquette E., Zandian M., Douglas S. / Proc. of SPIE. 2020. Vol. 11407. P. 114070X.
- Kopytko M., Wróbel J., Jóźwikowski K. et al. / J. Electron. Mater. 2015. Vol. 44. № 1. P. 158–166.
- Martyniuk P., Kopytko M., Rogalski A. / Opto-Electron. Rev. 2014. Vol. 22. № 2. P. 127–146.
- Войцеховский А. В., Горн Д. И. / Прикладная физика. 2016. № 4. С. 83–86.
- Gravrand О., Lobre С., Santailler J. L., Baier N., Rabaud W., Kerlain A., Sam-Giao D., Lebo-terf P., Cornus B., Rubaldo L. / Proc. of SPIE. 2022. Vol. 12107. P. 121070U.
- Caulfield J. T., Curzan J. P., Norton A., Terteri-an S., Sharifi H. / Proc. of SPIE. 2022. Vol. 12107. P. 121071U.
- Ting D. Z., Fisher A. M., Pepper B. J., Hill C. J., Keo S. A., Khoshakhlagh A., Soibel A., Rafol S. B., Maruyama Y., Gunapala S. D., Pagano T. S. / Proc. of SPIE. 2022. Vol. 12107. P. 121070O.
- Itsuno A. M., Phillips J. D., Velicu S. / Appl. Phys. Lett. 2012. Vol. 100. P. 161102.
- Itsuno A. M., Phillips J. D., Velicu S. / J. Elec-tron. Mater. 2012. Vol. 41. P. 2886–2892.
- Болтарь К. О., Бурлаков И. Д., Яковлева Н. И., Седнев М. В., Трухачев А. В., Иродов Н. А., Лопухин А. А., Пермикина Е. В., Войцеховский А. В., Горн Д. И., Михайлов Н. Н. / Прикладная физика. 2025. № 1. С. 38–44.
- Войцеховский А. В., Несмелов С. Н., Дзядух С. М., Дворецкий С. А., Михайлов Н. Н., Сидоров Г. Ю., Якушев М. В. / Прикладная физика. 2020. № 1. С. 25–31.
- Варавин В. С., Дворецкий С. А., Михай-лов Н. Н., Ремесник В. Г., Сабинина И. В., Сидоров Ю. Г., Швец В. А., Якушев М. В., Латышев А. В. / Автометрия. 2020. Т. 56. № 5. С. 12–26.
- Головин С. В., Кашуба А. С. Способ пассива-ции поверхности теллурида кадмия-ртути. Патент RU 2611211 C1 (РФ). 2017.
- Седнев М. В., Болтарь К. О., Шаронов Ю. П., Лопухин А. А. / Прикладная физика. 2014. № 4. С. 51–55.
- Болтарь К. О., Корнеева М. Д., Мезин Ю. С., Седнев М. В. / Прикладная физика. 2011. № 1. С. 96–100.
- Compain V., De Monte B., Mazaleyrat E., Roy-er Y., Orlach B., Vivier S., Veyrier J., Vollard G., Panzarella F. / Proc. of SPIE. 2017. Vol. 10177. P. 101771G-1-12.
- Breiter R., Eich D., Figgemeier H., Lutz H., Wendler J., Rühlich I., Rutzinger S., Schallenberg T. / Proc. of SPIE. 2014. Vol. 9070. P. 90702V.
- DataSheet, DAPHNIS-HD MW, 1280x720 – 10 μm pitch – MCT.
- Vereecken W., Van Bogget U., Colin T., Vinella R. M., Das J., Merken P., Vermeiren J. /Proc. of SPIE. 2013. Vol. 8704. P. 870404.
- Shkedy L., Fraenkel R., Fishman T., Giladi A., Bykov L., Grimberg I., Ilan E., Vasserman S., Koifman A. / Proc. of SPIE. 2013. Vol. 8704. P. 87042I.
- Gerken M., Achtner B., Kraus M., Neumann T., Münzberg M. / Proc. of SPIE. 2012. Vol. 8353. P. 835304.
- Каталог Image sensors, Hamamatsu, Япония.
- Islam M., Feng J. Y., Berkovich A., Abshire P., Barrows G., Choa F. S. / Proc. of SPIE. 2016. Vol. 9819. P. 98190G.
- Чинарева И. В., Огнева О. В., Забенькин О. Н., Мищенкова Т. Н. Способ изготовления быстродей-ствующего многоэлементного фотоприемника на основе эпитаксиальных структур InGaAs/InP. Патент № 2 318 272 С1 (РФ). 2008.
- Rutz F., Kleinow P., Aidam R., Heussen H., Bronner W., Sieck A., Walther M. / Proc. of SPIE. 2015. Vol. 9481. P. 948107.
- David J., Tan C. H. / IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics. 2008. № 14. P. 998–1009.
- Cook L. W., Bulman G. E., Stillman G. E. / Ap-plied Physics Letters. 1982. № 40. P. 589–91.
- Coussement J., Rouvié A., Oubensaid E. H., Huet O., Hamard S., Truffer J. P., Pozzi M., Maillart P., Reibel Y., Costard E., Billon-Lanfrey D. / Proc. of SPIE. 2014. Vol. 9070. P. 907005.
- Болтарь К. О., Яковлева Н. И. / Успехи при-кладной физики. 2023. Т. 11. № 2. С. 128–138.
- Anderson R. I. / Solid State Elec. 1962. Vol. 5. P. 341.
- Яковлева Н. И., Болтарь К. О., Седнев М. В., Никонов А. В. / Успехи прикладной физики. 2016. Т. 4. № 5. С. 465–470.
- Khamidullin K. A., Baliev D. L., Lazarev P. S., Boltar K. O., Polesskiy A. V., Burlakov I. D., Chepunov E. L., Gusarova N. I., Popov S. V. / Journal of Communications Technology and Electronics. 2019. Vol. 64. № 3. P. 319–324.
- Болтарь К. О., Иродов Н. А., Седнев М. В., Мармалюк А. А., Ладугин М. А., Рябоштан Ю. Л. / Прикладная физика. 2017. № 6. С. 49–53.
- Техническое зрение https://cvc.ai, ООО «ПАУЭР АИКОНТРОЛ».
- Современный солдат по призванию. Разви-тие средств наблюдения и защиты. Сайт. Военное обозрение. Технологии. 22.04.2020
Выпуск
С О Д Е Р Ж А Н И Е
ОБЩАЯ ФИЗИКА
Исследование электростатических полей внутри и снаружи осесимметричных диэлектрических тел сложной формы
Петрин А. Б.
ФОТОЭЛЕКТРОНИКА
Перспективы развития твердотельной фотоэлектроники Яковлева Н. И., Болтарь К. О., Бурлаков И. Д., Старцев В. В.
ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ
Эксперименты по предварительной ионизации рабочего газа в стеллараторе Л-2М с использованием системы ионного циклотронного нагрева
Попов М. Е., Мещеряков А. И., Гришина И. А.
Плазмохимическое получение углеводородов группы С2 из метана
Константинов В. О., Щукин В. Г.
ФИЗИЧЕСКОЕ МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Исследование свойств электродного материала системы «Cu–Sn» для электроискрового осаждения бронзовых покрытий
Панькин Н. А., Дмитриев А. В., Сигачев А. Ф., Моисеев Н. В.
Зависимость микроструктуры и остаточных напряжений YSZ пленок от расхода кислорода при магнетронном распылении Шипилова А. В., Соловьев А. А.
Другие статьи выпуска
Тонкие пленки ZrO2: Y2O3 (YSZ) толщиной 4‒5 мкм были сформированы на NiO-YSZ анодных подложках методом магнетронного распыления в атмосфере аргона и кислорода при различных расходах кислорода с последующим отжигом на воздухе при температуре 1200 C. Пленки изучали методами сканирующей, атомно-силовой микроскопии и рентгеновской дифракции. Количественное определение остаточных напряжений (макронапряжений I рода) в тонких пленках YSZ проводилось с использованием стандартного метода sin2. Упругие константы для каждого конкретного образца были определены из результатов наноиндентирова-ния. Показано, что в пленках YSZ, нанесенных магнетронным распылением, внутренние напряжения являются сжимающими и составляют –2,7 ГПа и –2,9 ГПа при осаждении в переходном режиме с дефицитом кислорода и оксидном режимах, соответственно. Осаждение в оксидном режиме приводит к формированию плотной и однородной структуры пленки YSZ с единичными закрытыми порами. Пленка YSZ, полученная в переходном режиме магнетронного распыления, содержит большое количество дефектов в виде пор, ее пористость превышает 60 %. Переход от режима осаждения пленок YSZ с дефицитом кислорода к оксидному режиму приводит к снижению шероховатости поверхности в 2 раза.
Определены плотность, пористость, электропроводность и коэффициент массопереноса (при электроискровой обработке) порошковых электродных материалов системы «медь – олово». Они были получены методом холодного одностороннего формования смеси порошков металлов в закрытой пресс-форме. Диаграмма «плотность – давление прессования» является суперпозицией взаимного перераспределения/укладки структурных элементов порошкового материала и их упругой/пластической деформации. Определены критические давления формования (при аппроксимации логарифмической функцией). На зависимости от давления вклада укладки имеется максимум. Он смещается в область малых давлений формования при росте содержания олова в исходной шихте. В относительных единицах давления (по отношению к критическому) его положение остается практически неизменным. Увеличение давления формования и содержания олова приводит к росту плотности и электропроводности конечного материала, а также уменьшению его пористости. Рост энергии электроискрового разряда и содержания олова, а также уменьшение давления прессования приводят к увеличению коэффициента массопереноса.
Представлены результаты конверсии метана в углеводороды группы С2 в холодной, химически активной, сверхзвуковой электронно-пучковой плазме. Получены зависимости коэффициента использования метана и выхода продуктов от энергии и тока активирующего пучка электронов, дополнительной электромагнитной мощности, а также фонового давления. Показано, что за счет изменения вышеуказанных параметров возможно изменение состава получаемых продуктов.
Проведены эксперименты по предварительной ионизации плазмы стелларатора Л-2М с использованием двухканальной системы ионного циклотронного резонансно-го нагрева. Мощность каждого канала нагрева составляла 1 кВт. ВЧ-мощность для предварительной ионизации рабочего газа подавалась на антенну за 10 мс до возникновения напряжения на обходе. Проведение предварительной ионизации позволило уменьшить напряжение на обходе перед пробоем рабочего газа на 15–20 %. Задержка между моментом возникновения напряжения на обходе и моментом пробоя рабочего газа уменьшилась вдвое. Вследствие этого наблюдалось подавление генерации убегающих электронов на начальной стадии разряда, возникающей в условиях низкой плотности плазмы и высокого напряжения на обходе. При подаче ВЧ-напряжения на антенну детектором ДРГ3-01 было зарегистрировано уменьшение интенсивности жесткого рентгеновского излучения в 10 раз, что указывает на подавление генерации убегающих электронов. Наилучшее подавление генерации убегающих электронов наблюдалось в условиях, когда ВЧ-импульс предварительной ионизации подавался за 10 мс до возникновения напряжения на обходе и заканчивался через 10 мс после пробоя рабочего газа.
Рассматривается метод нахождения электростатических (квазистатических) полей внутри и снаружи осесимметричных диэлектрических тел сложной формы. Высокая точность метода подтверждается сравнением результатов расчета с известными задачами, допускающими строгое решение, таких как диэлектрическая сфера и эллипсоид в однородном электрическом поле. Исследуются аналогичные распределения электрического поля для задачи о двух диэлектрических шарах, соединенных перемычкой из того же материала. Обсуждается применимость метода, для случая, когда рядом с телом будет находиться плоскослоистая структура.
Издательство
- Издательство
- АО "НПО "ОРИОН"
- Регион
- Россия, Москва
- Почтовый адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- Юр. адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- ФИО
- Старцев Вадим Валерьевич (ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР)
- E-mail адрес
- orion@orion-ir.ru
- Контактный телефон
- +7 (499) 3749400