СТРУКТУРА И СВОЙСТВА МНОГОСЛОЙНЫХ ПЛЕНОК ВЫСОКОЭНТРОПИЙНЫХ СПЛАВОВ, ПОЛУЧЕННЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ (2021)

Рассмотрен метод формирования пленки высокоэнтропийных сплавов (ВЭС), заключающийся в ее осаждении на подложку в вакууме из многокомпонентной газо-металлической плазмы, созданной одновременным независимым вакуумно-дуговым испарением катодов выбранных элементов в режиме с плазменным ассистированием. Показано, что варьирование тока разряда электродуговых испарителей позволяет в широких пределах изменять элементный состав пленок ВЭС. Установлено, что сформированные пленки являются однофазными материалами, имеющими объемноцентрированную кристаллическую решетку, параметр которой изменяется в пределах от 0.31661 до 0.31959 нм и закономерным образом зависит от концентрации элементов в сплаве. Формируемые пленки ВЭС имеют нанокристаллическую структуру, области когерентного рассеивания которой изменяются в пределах от 15.1 до 25.2 нм. Микротвердость пленок зависит от концентрации химических элементов и изменяется в пределах от 13.0 до 15.0 ГПа.

Тип: Статья
Автор (ы): Иванов Юрий Федорович
Соавтор (ы): Ахмадеев Юрий Халяфович, Углов Владимир Васильевич, Шугуров Владимир Викторович, Петрикова Елизавета Алексеевна, Крысина Ольга Васильевна, Прокопенко Никита Андреевич, Ажажа Иван Иванович
Ключевые фразы: ВЫСОКОЭНТРОПИЙНЫЕ СПЛАВЫ, ВЭС-ПЛЕНКИ, ВАКУУМНО-ДУГОВОЙ ПЛАЗМЕННО-АССИСТИРОВАННЫЙ МЕТОД, НАПЫЛЕНИЕ, ФАЗОВЫЙ СОСТАВ, микротвердость, ИЗНОСОСТОЙКОСТЬ

Идентификаторы и классификаторы

УДК
533.9. Физика плазмы
539.4.015.2. состояния поверхности
Префикс DOI
10.17223/00213411/64/12/32
eLIBRARY ID
47503165
Текстовый фрагмент статьи