ISSN 1996-0948 · EISSN 2949-561X
Языки: ru · en

Статья: Ионный состав плазмы планарного магнетрона в газовом и вакуумном режимах функционирования (2025)

Читать онлайн

Приводятся результаты экспериментального исследования и численного моделирования долевого содержания ионов аргона и меди в плазме, генерируемой в планарном магнетроне постоянного тока с медной мишенью в газовом режиме (при давлении аргона уровня 0,1 Па), и в вакуумном режиме (при давлении остаточного газа 0,004 Па). Показано, что доли ионов меди в газовом и вакуумном режимах при токе разряда, достаточном для поддержания режима самораспыления (10 А), достаточно близки и
составляют 97 % и 100 %, соответственно. Результаты экспериментов и численных оценок свидетельствуют о возможности осуществления стабильного функционирования непрерывного разряда и получения потока металлических ионов в высоком вакууме в планарном магнетроне без эффектов термического испарения или сублимации
медной мишени.

The results of experimental study and numerical modeling of the fractional content of argon and copper ions in plasma generated in a planar DC magnetron with a copper target in the gaseous mode (at an argon pressure of 0.1 Pa) and in the vacuum mode (at a residual gas
pressure of 0.004 Pa) are presented. We show that the fractions of copper ions in the gaseous and vacuum modes at a discharge current, sufficiently-high to maintain the self-sputtering mode (10 A), are quite close and equal to 97 % and 100 %, respectively. The results of experiments and numerical estimates indicate the possibility of implementing stable operation of a
continuous discharge and obtaining a flow of metal ions in a high vacuum in a planar magnetron
without the effects of thermal evaporation or sublimation of the copper target.

Ключевые фразы: ПЛАНАРНЫЙ МАГНЕТРОН, режим самораспыления, вакуумный режим функ- ционирования
Автор (ы): Золотухин Денис Борисович
Соавтор (ы): Шандриков Максим Валентинович, Юшков Георгий Юрьевич
Журнал: Прикладная физика

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.525.5. Дуговой разряд
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2025-1-16-23
Для цитирования:
ЗОЛОТУХИН Д. Б., ШАНДРИКОВ М. В., ЮШКОВ Г. Ю. ИОННЫЙ СОСТАВ ПЛАЗМЫ ПЛАНАРНОГО МАГНЕТРОНА В ГАЗОВОМ И ВАКУУМНОМ РЕЖИМАХ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2025. №1
Текстовый фрагмент статьи