Механические и трибологические свойства a-C:H:SiOx пленок, полученных плазмохимическим методом с использованием импульсного биполярного напряжения смещения подложки (2020)
Получены образцы a-C:H:SiOx пленок на подложках из кремния, нержавеющей ста-ли AISI 316L и сплава ВК-8 методом плазмохимического осаждения с использованием импульсного биполярного напряжения смещения подложки. Показана возможность нанесения a-C:H:SiOx пленки толщиной более 7 мкм с твердостью около 15 ГПа, высокой адгезионной прочностью и низкими внутренними напряжениями (менее 0,5 ГПа). Трибологические испытания показали, что пленки обладают низким коэффициентом трения (менее 0,08) и низкой скоростью износа (~10-7 мм3/Н∙м).
The a-C:H:SiOx films were deposited on silicon, stainless steel AISI 316L and WC-8%Co al-loy substrates by PACVD using a bipolar pulsed bias voltage applied to the substrate. The possibility of deposition of high adhesive 7 m thick a-C:H:SiOx films with a hardness of about 15–17 GPa and low internal stresses (less than 0.5 GPa) is shown. Tribological tests showed that the films have a low coefficient of friction (less than 0.08) and a low wear rate ( 10-7 mm3/N m).
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 43799641
В настоящей работе обсуждаются результаты исследования структуры, механических и трибологических свойств a-C:H:SiOx пленок, наносимых плазмохимическим методом с использованием импульсного биполярного напряжения смещения подложки. Нанесение a-C:H:SiOx пленки как на твердые материалы (сплав ВК-8), так и на более мягкие (например, сталь AISI 316L) обеспечивает снижение коэффициента трения и повышение износостойкости этих материалов. Поскольку пленка имеет низкие внутренние напряжения (менее 0,5 ГПа), то возможно нанесение относительно толстых пленок, толщиной до 7 мкм. Такие пленки характеризуются высокой твердостью (15–17 ГПа) и высокой адгезионной прочностью (критическая нагрузка, измеренная с помощью скретч-теста, не менее 15 Н). Плёнка на нержавеющей стали марки 316L и сплаве ВК-8 обладает низким коэффициентом трения 0,074 и 0,049, а также низкой скоростью износа 7,910-7 и 5,310-7 мм3/(Н м), соответственно.
Список литературы
- Ankit Tyagi, Walia R. S., Qasim Murtaza, Shailesh M. Pandey, Pawan K. Tyagi, Bharat Bajaj // International Journal of Refractory Metals and Hard Materials. 2019. Vol. 78. P. 107.
- Feng Wen, Jiaqi Liu, Jianlu Xue // Colloid and Surface Science. 2017. Vol. 2. P. 81.
- Ferreira F., Aijaz A., Kubart T., Cavaleiro A., Oliveira J. // Surface and Coatings Technology. 2018. Vol. 336. P. 92.
- Constantinou M., Pervolaraki M., Koutsokeras L. // Surface and Coatings Technology. 2017. Vol. 330. P. 185.
- Randeniya L. K., Bendavis A., Martin P. J. // Dia-mond & Related Materials. 2009. Vol. 18. P. 1167.
- Meskinis S., Tamuleviciene A. // Materials science. 2011. Vol. 17. № 4. P. 358.
- Barve S. A., Chopade S. S., Kar R., Chand N. // Di-amond and Related Materials. 2017. Vol. 71. P. 63.
- Kumar N., Barve S. A., Chopade S. S., Rajib K. // Tribology International. 2015. Vol. 84. P. 124.
- Santra T. S., Bhattacharyya T. K., Patel P., Tseng F. G., Barik T. K. // Surface & Coatings Technology. 2011. Vol. 206. P. 228.
- Bociaga D., Sobczyk-Guzenda A., Szymanskic W. // Applied Surface Science. 2017. Vol. 417. P. 23.
- Bociaga D., Kaminska M., Sobczyk-Guzenda A. // Diamond and Related Materials. 2016. Vol. 67. P. 41.
- Batory D., Jedrzejczak A., Szymanski W. // Thin Solid Films. 2015. Vol. 590. P. 299.
- Kumar N., Barve S. A., Chopade S. S., Rajib K. // Tribology International. 2015. Vol. 84. P. 124.
- Zavedeev E. V., Zilova O. S., Barinov A. D., Shupegin M. L., Arutyunyan N. R., Jaeggi B., Neuensch-
wander B., Pimenov S. M. // Diamond and Related Materials. 2017. Vol. 74. P. 45. - Hashmi S., Batalha G. F., Van Tyne C. J., Yilbas B. S. Comprehensive Materials Processing. – Amster-dam: Elsevier, 2014.
- Kelly P. J., Hall R., O’Brien J., Bradley J. W., Roche G., Arnell R. D. // Surface and Coatings Technology. 2001. Vol. 635-641. P. 142.
- Oskirko V. O., Sochugov N. S., Pavlov A. P. // In-struments and Experimental Techniques. 2014. Vol. 57. № 5. P. 594.
- Grenadyorov A. S., Solovyev A. A., Oskomov K. V., Oskirko V. O. // Journal of Vacuum Science & Technology A. 2019. Vol. 37. Art. 061512.
- Sochugov N. S., Oskirko V. O., Spirin R. E. // Instruments and Experimental Techniques. 2013. Vol. 56. № 2. P. 178.
- Cai J. B., Wang X. L., Bai W. Q., Zhao X. Y., Wang T. Q., Tu J. P. // Applied Surface Science. 2013. Vol. 279. P. 450.
- Lepicka M., Gradzka-Dahlke M., Pieniak D., Pa-serbiewicz K., Niewczas A. // Wear. 2017. Vol. 382-383. P. 62.
- Peng X. L., Barber Z. H., Clyne T. W. // Surf. Coat. Technol. 2001. Vol. 138. P. 23.
- Lotfian S., Mayer C., Chawla N., Llorca J., Misra A., Baldwin J. K., Molina-Aldareguía J. M. // Thin Solid Films. 2014. Vol. 571. P. 260.
- Zhang S., Yan M., Yang Y., Zhang Y., Yan F., Li H. // Carbon. 2019. Vol. 151. P. 136.
- Оскомов К. В., Сочугов Н. С., Соловьев А. А., Работкин С. В. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. № 19. С. 20.
- Lazauskas A., Grigaliūnas V., Meškinis Š., Ecar-la F., Baltrusaitis J. // Appl. Surf. Sci. 2013. Vol. 276. P. 543.
- Zavedeev E. V., Jaeggi B., Zuercher J., Neu-enschwander B., Zilova O. S., Shupegin M. L., Presniakov M. Yu., Pimenov S. M. // Wear. 2018. Vol. 416–417.
P. 1. - Ferrari A. C., Robertson J. // Physical Review B. 2000. Vol. 61. № 20. P. 14095.
- Santra T. S., Liu C. H., Bhattacharyya T. K., Patel P., Barik T. K. // J. Appl. Phys. 2010. Vol. 107. Art. 124320.
- Grenadyorov A. S., Solovyev A. A., Oskomov K. V., Onischenko S. A., Chernyavskiy A. M., Zhulkov M. O., Kaichev V. V. // Surface and Coatings Technology. 2020. Vol. 381. Art. 125113.
- Гренадеров А. С., Оскомов К. В., Соловьев А. А., Работкин С. В. // Журнал технической физики. 2016. Т. 86. № 5. С. 51.
- Tyagi Ankit, R. S. Walia, Qasim Murtaza, Shailesh M. Pandey, Pawan K. Tyagi, and Bharat Bajaj, International Journal of Refractory Metals and Hard Materials 78, 107 (2019).
- Feng Wen, Jiaqi Liu, and Jianlu Xue, Colloid and Surface Science 2, 81 (2017).
- F. Ferreira, A. Aijaz, T. Kubart, A. Cavaleiro, and J. Oliveira, Surface and Coatings Technology 336, 92 (2018).
- M. Constantinou, M. Pervolaraki, and L. Kout-sokeras, Surface and Coatings Technology 330, 185 (2017).
- L. K. Randeniya, A. Bendavis, and P. J. Martin, Diamond & Related Materials 18, 1167 (2009).
- S. Meskinis and A. Tamuleviciene, Materials science 17 (4), 358 (2011).
- S. A. Barve, S. S. Chopade, R. Kar, and N. Chand, Diamond and Related Materials 71, 63 (2017).
- N. Kumar, S. A. Barve, S. S. Chopade, and K. Rajib, Tribology International 84, 124 (2015).
- T. S. Santra, T. K. Bhattacharyya, P. Patel, F. G. Tseng, and T. K. Barik, Surface & Coatings Technology 206, 228 (2011).
- D. Bociaga, A. Sobczyk-Guzenda, and W. Szymanskic, Applied Surface Science 417, 23 (2017).
- D. Bociaga, M. Kaminska, and A. Sobczyk-Guzenda, Diamond and Related Materials 67, 41 (2016).
- D. Batory, A. Jedrzejczak, and W. Szymanski, Thin Solid Films 590, 299 (2015).
- N. Kumar, S. A. Barve, S. S. Chopade, and K. Rajib, Tribology International 84, 124 (2015).
- E. V. Zavedeev, O. S. Zilova, A. D. Barinov, M. L. Shupegin, N. R. Arutyunyan, B. Jaeggi, B. Neuenschwander, and S. M. Pimenov, Diamond and Related Materials 74, 45 (2017).
- S. Hashmi, G. F. Batalha, C. J. Van Tyne, and B. S. Yilbas, Comprehensive Materials Processing (Elsevier, Amsterdam,2014).
- P. J. Kelly, R. Hall, J. O’Brien, J. W. Bradley, G. Roche, and R. D. Arnell, Surf. Coat. Technol. 635-641, 142 (2001).
- V. O. Oskirko, N. S. Sochugov, and A. P. Pavlov, Instruments and Experimental Techniques. 57 (5), 594 (2014).
- A. S. Grenadyorov, A. A. Solovyev, K. V. Oskomov, and V. O. Oskirko, J. of Vac. Sci. & Tech. A. 37, 061512 (2019).
- N. S. Sochugov, V. O. Oskirko, and R. E. Spirin, Instruments and Experimental Techniques. 56 (2), 178 (2013).
- J. B. Cai, X. L. Wang, W. Q. Bai, X. Y. Zhao, T. Q. Wang, and J. P. Tu, Applied Surface Science 279, 450 (2013).
- M. Lepicka, M. Gradzka-Dahlke, D. Pieniak, K. Paserbiewicz, and A. Niewczas, Wear. 382-383, 62 (2017).
- X. L. Peng, Z. H. Barber, and T. W. Clyne, Surf. Coat. Technol. 138, 23 (2001).
- S. Lotfian, C. Mayer, N. Chawla, J. Llorca, A. Misra, J. K. Baldwin, and J. M. Molina-Aldareguía, Thin Solid Films. 571, 260 (2014).
- S. Zhang, M. Yan, Y. Yang, Y. Zhang, F. Yan, and H. Li, Carbon. 151, 136 (2019).
- K. V. Oskomov, N. S. Sochugov, A. A. Solovyev, and S. V. Rabotkin, Technical Physics Letters, No. 19, 35 (2009).
- A. Lazauskas, V. Grigaliūnas, Š. Meškinis, F. Ecarla, and J. Baltrusaitis, Appl. Surf. Sci. 276, 543 (2013).
- E. V. Zavedeev, B. Jaeggi, J. Zuercher, B. Neuenschwander, O. S. Zilova, M. L. Shupegin, M. Yu. Presnia-kov, and S. M. Pimenov, Wear. 416–417, 1 (2018).
- A. C. Ferrari and J. Robertson, Physical Review B. 61 (20), 14095 (2000).
- T. S. Santra, C. H. Liu, T. K. Bhattacharyya, P. Patel, and T. K. Barik, J. Appl. Phys. 107, 124320 (2010).
- A. S. Grenadyorov, A. A. Solovyev, K. V. Oskomov, S. A. Onischenko, A. M. Chernyavskiy, M. O. Zhul-kov, and V. V. Kaichev, Surf. Coat. Technol. 381, 125113 (2020).
- A. S. Grenadyorov, K. V. Oskomov, A. A. Solovyev, and S. V. Rabotkin, Tech. Phys., No. 5, 86 (2016).
Выпуск
С О Д Е Р Ж А Н И Е
ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ
Новиков Н. Д., Василяк С. Л., Баркова М. И., Яненко Ю. Б.
Свойства металлоорганических супрамолекулярных комплексов углеродных квантовых нитей 167
Иванов И. Е.
Метод мгновенной частоты для анализа квазимонохроматических и шумовых СВЧ-сигналов 175
Бржозовский Б. М., Мартынов В. В., Молчанов C. Ю., Бахтеев И. Ш., Довгань А. А.
Распределение электрического поля в разрядной камере при щелевом вводе СВЧ-энергии 189
ФОТОЭЛЕКТРОНИКА
Улькаров В. А., Яковлева Н. И., Никонов А. В.
Электрофизические параметры материалов группы нитридов и анализ методов их расчета 199
ФИЗИЧЕСКОЕ МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Лелюхин А. С., Муслимов Д. А.
Численное моделирование пространственного распределения фотонов вторичного излучения 208
Гренадёров А. С., Соловьёв А. А., Оскомов К. В.
Механические и трибологические свойства a-C:H:SiOx пленок, полученных плазмо-химическим методом с использованием импульсного биполярного напряжения сме-щения подложки 216
ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА И ЕЁ ЭЛЕМЕНТЫ
Полесский А. В., Агафонов И. В., Лопатина Е. А., Худолеева Е. А.
Использование приближенных формул расчёта величины потока излучения от «протяженного» абсолютно черного тела 224
C O N T E N T S
PLASMA PHYSICS AND PLASMA METHODS
N. D. Novikov, S. L. Vasilyak, M. I. Barkova, and Yu. B. Yanenko
Properties of organometallic supramolecular complexes of carbon quantum filaments 167
I. E. Ivanov
Instantaneous frequency method for the analysis of quasi-monochromatic and noise signals 175
B. M. Brzhozovskii, V. V. Martynov, S. Yu. Molchanov, I. S. Bahteev, and A. A. Dovgan
Study of distribution of the electric field in a plasma chamber with input slot of microwave energy 189
PHOTOELECTRONICS
V. A. Ulkarov, N. I. Yakovleva, and A. V. Nikonov
Electrophysical parameters of nitride group materials and experimental methods of their calculation 199
PHYSICAL SCIENCE OF MATERIALS
A. S. Lelyukhin and D. A. Muslimov
Numerical modeling of the spatial distribution of secondary radiation photons 208
А. S. Grenadyorov, А. А. Solovyev, and K. V. Oskomov
Investigation of mechanical and tribological properties of a-C:H:SiOx films deposited by PACVD using impulse bipolar bias voltage of the substrate 216
PHYSICAL EQUIPMENT AND ITS ELEMENTS
A. V. Polesskiy, I. V. Agafonov, E. A. Lopatina, and E. A. Khudoleeva
Using approximate formulas for calculating the radiation flux from an extended Absolute Black Body 224
Другие статьи выпуска
Статья посвящена получению формул, которые позволяют проводить приближенный расчет величины потока излучения, падающего на каждый элемент фотоприемных устройств (ФПУ). Применение оптимизированных формул дает возможность сократить машинное время, затрачиваемое для расчетов величины падающего потока при проведении измерений инфракрасных (ИК) ФПУ. Также был поведен анализ оценки дополнительной погрешности, вносимой приближенной формулой вычисления величины падающего потока при измерении параметров ФПУ с «холодной» диафрагмой круглой формы.
В работе решается прикладная задача расчета профилей полей вторичного излучения, возбуждаемого в элементах конструкции линейного многоканального детектора, протяженного вдоль линии распространения первичного излучения. Приведен анализ влияния вторичного излучения на форму экспериментально регистрируемых абсорбционных кривых. Сделана постановка задачи и предложена методика моделирования, учитывающая взаимодействие со связанными электронами атомов. Выполнен численный расчет и выявлены закономерности формирования профилей полей вторичного излучения, обусловленные условиями возбуждения первичного излучения, физическими свойствами рассеивающей среды и размерами области облучения. Экспериментально показано, что в плоскости регистрации, непосредствен-но примыкающей к рассеивающему фантому, поля вторичного излучения имеют градиентную структуру.
В работе исследованы методы определения концентрации и подвижности носителей заряда в материалах группы нитридов р- и n-типа проводимости, предложены выражения для определения коэффициента Холла и подвижности носителей заряда в образцах нестандартной формы, а также поправочные коэффициенты, уменьшающие погрешность измерений. Определены концентрации и подвижности в образцах на основе группы нитридов р- и n-типа проводимости методом Холла и методом Ван-дер-Пау для образцов разной геометрии с контактами различной формы.
Рассмотрены некоторые виды щелевого ввода больших значений энергии в цилиндрические и прямоугольные резонаторы. Выбран и оптимизирован ввод энергии через щелевые волноводные отверстия, расположенные на центральной окружности резонатора. Определен КСВ системы. Проведено моделирование изменения энергии электрического поля в резонаторе при смещении положения щелевого волновода. Показаны оптимальные (наилучшие для обработки плазмой СВЧ-разряда) положения объектов и волноводных щелей, а также критические положения (выбор которых может вывести генератор из строя). Рассчитано увеличение напряженности поля между двумя металлическими объектами. Получены результаты, демонстрирующие неприемлемый способ щелевого ввода энергии для решения некоторого типа задач, связанных с обработкой сложных поверхностей СВЧ-разрядом.
Для частотно-временного анализа нестационарных сигналов традиционно применяются различные варианты быстрого преобразования Фурье, а также более сложный в реализации вейвлет-анализ. В настоящей работе рассматривается упрощённый подход для быстрой обработки и анализа сигналов, основанный на измерении временных интервалов между локальными экстремумами (максимумами) осциллограммы. Обратная величина этого интервала называется мгновенной частотой. Этот метод позволяет исследовать сложные по частотно-временной структуре СВЧ-импульсы, даёт представление об изменении спектрального состава излучения в течение импульса, прост в реализации. Применение «метода мгновенной частоты» рассматривается на примере квазимонохроматических сигналов, сигналов с перескоком частот, сигналов с дрейфом частоты и шумовых сигналов, генерируемых мощными релятивистскими плазменными источниками СВЧ-излучения в интервале частот 0–4 ГГц. Метод позволяет эффективно сравнивать однотипные сигналы, а также строить трёхмерное изображение мгновенной частоты в координатах частота-время.
Ионно-плазменным способом в импульсном режиме с ионной стимуляцией синтезировались плёнки самоорганизованного двумерно-упорядоченного линейно-цепочечного углерода (ДУЛЦУ) толщиной 50–300 нм. В межцепочечное пространство плёнки ДУЛЦУ внедрялись атомы других элементов. Это осуществлялось путём их допирования в процессе синтеза или прямым контактным диффузионным взаимодействием. Отжиг таких систем приводит к изменению морфологических, оптических и электрофизических свойств. Внедрялись различные элементы, показаны структуры для образцов с платиной, никелем, серебром. Рассмотрены результаты исследования свойств плёнок ДУЛЦУ, интеркалированных серебром.
Показаны изменения структуры и свойств в процессе приготовления образцов: на атомном силовом микроскопе, на спектрофотометре Lambda-25, на просвечивающем электронном микроскопе. Рассмотрена электронограмма, доказывающая интеркалирование кластеров атомов серебра в плёнку ДУЛЦУ. Изменения электрических свойств показаны на примере датчика влажности, изготовленного на основе системы Ag–ДУЛЦУ–Sn.
Издательство
- Издательство
- АО "НПО "ОРИОН"
- Регион
- Россия, Москва
- Почтовый адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- Юр. адрес
- 111538, г Москва, р-н Вешняки, ул Косинская, д 9
- ФИО
- Старцев Вадим Валерьевич (ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР)
- E-mail адрес
- orion@orion-ir.ru
- Контактный телефон
- +7 (499) 3749400