Анализ погрешностей метода динамической интерферометрии при контроле локальных поверхностных неоднородностей нанометрового уровня профилей оптических деталей (2022)

Разработан, научно обоснован и экспериментально подтверждён метод динамической интерферометрии контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей оптических деталей от заданного профиля на основе алгоритма расчёта целевой функции – спектральной плотности одномерной корреляционной функции (СПКФ1 от англ. PSD (Power Spectral Density One Dimension)). Представлены теоретические и экспериментальные исследования, посвящённые определению среднего квадратического отклонения (СКО) локальных отклонений поверхностей оптических деталей диаметром до 100 мм и до 1000 мм, с учётом неисключённой систематической и случайной составляющих погрешностей определения целевой функции.

The method of dynamic interferometry for monitoring local deviations of the nanometer level of the surfaces of optical parts from a given profile has been developed, scientifically substantiated and experimentally confirmed, based on the algorithm for calculating the objective function - the spectral density of one-dimensional correlation function (PSCF1 from English. PSD (Power Spectral Density One Dimension)). Theoretical and experimental studies are presented on the determination of the standard deviation (RMSD) of local deviations of the surfaces of optical parts with a diameter of up to 100 mm and up to 1000 mm, taking into account the non-excluded systematic and random components of the errors in determining the objective function.

Тип: Статья
Автор (ы): Денисов Дмитрий Геннадьевич
Соавтор (ы): Фролова Валерия Евгеньевна, МАШОШИН АНДРЕЙ ИВАНОВИЧ, Устюгова Мария Николаевна, Гафаров Исмагил Ильдусович

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
535.417. Применение интерференции
681.7.02. Процессы получения и обработки оптических деталей
Префикс DOI
10.51368/2307-4469-2022-10-1-71-89
eLIBRARY ID
48049886
Текстовый фрагмент статьи