Рассмотрены способы повышения механической прочности и воспроизводимости в конструкции двухспектральных утоньшенных матричных фотоприемников из InSb посредством напыления многослойных интерференционных покрытий на основе слоёв кремния и двуокиси кремния. Представлены результаты моделирования распределения механических напряжений и подавления погрешностей оптической толщины антиотражающих покрытий с различным количеством слоев. Получены экспериментальные образцы двухспектральных матричных фотоприемников, подтверждающие результаты моделирования.
The paper considers the methods of increasing in mechanical strength and reproducibility in the construction of the two-spectral of the thinning InSb FPA by means of spraying of multi-layer interference coatings on the basis of the layers of silicon and dioxide of silicon. The re-sults of the simulation of the distribution of mechanical stresses and suppression of errors in the optical thickness of the antireflecting coatings with different quantity of layers are repre-sented. Are obtained the experimental samples of two-spectral FPA, the confirmatory results of simulation.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- УДК
- 621.315.59. Проводники с особо высоким сопротивлением. Полупроводники
621.383.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом. Фоторезисторы
621.383.5. Фотоприемники с запирающим слоем - Префикс DOI
- 10.51368/2307-4469-2022-10-1-14-22
- eLIBRARY ID
- 48049881