ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ОСАЖДЕНИЯ НА СВОЙСТВА МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ НИТРИДОВ ZR, TI, AL И SI, СИНТЕЗИРОВАННЫХ ПЛАЗМЕННО-АССИСТИРОВАННЫМ КАТОДНО-ДУГОВЫМ НАПЫЛЕНИЕМ (2021)
Проведено исследование закономерностей формирования многослойных покрытий на основе систем ZrTiN и ZrTiAlSiN. Максимальная твердость полученных покрытий составляет 28 и 29 ГПа соответственно. Результатом снижения скорости вращения от 3 до 1 об/мин является увеличение твердости покрытий систем ZrTiN и ZrTiAlSiN на 30 и 50% соответственно. Добавление Al и Si в покрытие приводит к наноструктуризации многокомпонентных покрытий ZrTiAlSiN и повышению его жаростойкости.
Издание:
ИЗВЕСТИЯ ВУЗОВ. ФИЗИКА
Выпуск:
Том 64, № 12 (769) (2021)