Ключевая фраза: субмикронная литография

Материалы

Ниже приведен список материалов, найденных в базе данных SciNetwork, с ключевым словом «субмикронная литография».

Статьи: 1

01.СТИМУЛИРОВАННАЯ ДЕСОРБЦИЯ В ПУЧКАХ ЭЛЕКТРОНОВ И ИОНОВ ДЛЯ СУБМИКРОННОЙ ЛИТОГРАФИИ (1996)

Сохранить в закладках

Журнал:

ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Автор(ы):

Борисов Б. С., Залялютдинов М. К., Кириленко Е. П., Трифонов А. Ю.