Инженерия инфраструктуры фотоэлектронных производств
При проектировании и эксплуатации современных производств фотоэлектронной индустрии необходимо построение всей структуры производства в целом, начиная с инженерии обеспечения производств высокочистыми материалами, включая технологические и магистральные газы, до конечного изделия. Рассмотрена специфика инженерия инфраструктуры и безопасности производства, приведены требования к чистоте производства, системам газоснабжения, особенностям проектирования при работе с опасными и токсичными материалами.
Новая реальность» рынка поликремния
Доклад на XII Международной Конференции и XI Школе молодых ученых по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе в 2018 г