ISSN 0579-9392
Язык: ru

ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 3: ФИЗИКА. АСТРОНОМИЯ

Архив статей журнала

МОДЕЛЬ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОРЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ОБЛУЧЕНИИ ГАЗОВЫМИ КЛАСТЕРНЫМИ ИОНАМИ (2024)
Выпуск: № 1 (2024)
Авторы: Иешкин Алексей Евгеньевич, Бессмертный Данила Романович

Предложена модель эволюции нанорельефа поверхности под действием облучения газовыми кластерными ионами. Модель основана на рассмотрении индивидуальных столкновений кластеров с поверхностью. Определяется количество вещества, распыляемого из области столкновения, и эффективность его переосаждения на другие элементы поверхности. Показана работоспособность модели при сравнении с экспериментальными данными. Исследованы этапы сглаживания модельного гармонического рельефа. Предложена новая мера эффективности сглаживания поверхности.

Сохранить в закладках