ФОРМАЛИЗОВАННЫЙ ПОДХОД К ОЦЕНКЕ КАЧЕСТВЕННЫХ УСЛОВИЙ ПРОЦЕССА ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ УПРОЧНЯЮЩИХ ПОКРЫТИЙ (2025)
Выпуск:
Т. 29 № 1 (107) (2025)
Предлагается способ количественной оценки качественного состояния процессов ионно-плазменного нанесения покрытий путем анализа комплекса технологических условий процесса с применением методов квалиметрии. Рассматривается математическая модель комплекса качественных характеристик плазменной среды в процессе нанесения покрытия, предполагающая количественную оценку основных характеристических параметров, с учетом взаимосвязи величины рабочего давления газа в вакуумной камере с наличием в ней газовых примесей. Приводятся результаты апробации предлагаемого способа при различных условиях реализации ионно-плазменного нанесения покрытия.