В работе представлены результаты исследования воздействия потока низкоэнергетических ионов, формируемых в условиях индукционного и емкостного высокочастотных разрядов пониженного давления, на волокна и ткани из аморфной двуокиси кремния. Установлено, что ионная модификация влияет на микрорельеф, удельную поверхность и структуру волокон при сохранении их объёмных свойств. Определены оптимальные режимы обработки и показано, что индукционная плазма эффективна для волокон, а емкостная - для тканей. Отмечено улучшение условий межфазного взаимодействия с полимерной матрицей, что открывает перспективы применения обработанных потоком низкоэнергетических ионов компонентов в составе композиционных материалов. Показано, что модификация посредством воздействия потоком низкоэнергетических ионов позволяет не только направленно корректировать поверхностные свойства аморфной двуокиси кремния в виде волокон, но и оказывает влияние на конечные характеристики композиционного материала в целом. Увеличение площади взаимодействия и изменение микрорельефа способствуют более эффективному распределению напряжений в зоне сопряжения, снижая риск расслоений и улучшая долговечность композиционных материалов. Эти особенности позволяют рассматривать обработку потоком низкоэнергетических ионов, генерируемых из плазмы высокочастотного разряда пониженного давления как перспективный инструмент тонкой настройки межфазных параметров при проектировании современных композиционных систем. Полученные результаты подтверждают перспективность применения обработки потоком низкоэнергетических ионов армирующих наполнителей в составе композиционных материалов, требующих высокой адгезионной прочности и стабильности межфазного взаимодействия.