Архив статей журнала

Исследование влияния особенностей процесса полирования на качество обработки поверхностей оптических деталей (2022)
Выпуск: № 3 (2022)
Авторы: Фролова Валерия Евгеньевна, Денисов Дмитрий Геннадьевич

Проведен анализ практических результатов современного мирового состояния технологии формообразования с целью обеспечения эффективности отечественных технологий. Выполнен сравнительный анализ существующих математических моделей, описывающих функцию съема оптического материала. Осуществлена апробация реальной математической модели, разработанной на основе экспериментальных исследований, в производственных условиях. Результатом работы является анализ графической зависимости шероховатости отполированной поверхности от концентрации полировальной суспензии.

Сохранить в закладках
Обработка подложек InSb с достижением морфологии поверхности, пригодной для молекулярно-лучевой эпитаксии (2024)
Выпуск: №5 (2024)
Авторы: Трофимов Александр, Молодцова Елена Владимировна, Косякова Анастасия Михайловна, Комаровский Никита Юрьевич, Клековкин Алексей Владимирович, Минаев Илья Иванович, Атрашков Антон Сергеевич

Рассмотрены физико-технологические методы подготовки поверхности монокристаллического антимонида индия (InSb) для молекулярно-лучевых процессов синтеза фоточувствительных слоев. Исследовано влияние основных параметров процессов шлифования, предфинишного полирования абразивной суспензией и финального химико-механического полирования на качество поверхности и основных параметров плоскопараллельности пластин-подложек InSb. В результате на пластинах InSb диаметром 50,8 мм достигнуты морфология поверхности и субнаношероховатый рельеф (Ra £ 0,5 нм), удовлетворяющие требованиям молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ). Разработана экспериментальная методика контроля качества и морфологии поверхности, основных параметров плоскопараллельности полупроводниковых подложек InSb в зависимости от изменения основных параметров процесса обработки поверхности

Сохранить в закладках