Архив статей журнала

Лазерная резка кремниевых подложек изготовленных методом Taiko (2020)
Выпуск: № 1 (2020)
Авторы: Кондратенко Владимир Степанович, Наумов Александр Сергеевич, Великовский Илья Эдуардович

Описан результат успешного применения метода лазерного управляемого термораскалывания при резке кремниевых подложек Тайко (Taiko) толщиной 50–250 мкм по замкнутому круговому контуру.

Сохранить в закладках