Особенности создания внутреннего геттера для ПЗС в пластинах диаметром 150 мм из кремния с более совершенной структурой (2011)
Выпуск:
№4 (2011)
Для создания внутреннего геттера в пластинах КДБ20 диаметром 150 мм (ОАО ″ЭЛМА“ 2003) в отличие от пластин КДБ20 диаметром 100 мм КДБ20 (“ЭЛМА”, 1986, 1990) необходим либо длительный отжиг при 700 °С, либо проведение первого отжига при 1200 °С в атмосфере кислорода. Это показывает, что пластины диаметром 150 мм содержат мало ростовых дефектов, поэтому для зарождения преципитатов необходим либо низкотемпературный отжиг, либо поток вакансий в объеме пластины, который образуется при окислении поверхности в ходе проводящегося первым отжига при 1200 °С.