Конверсия SiF4 во фторсиланы и моносилан в плазме объемного самостоятельного разряда (2014)
Выпуск:
№1 (2014)
Показана возможность эффективной конверсии SiF4 в SiHF3, SiH2F2 и SiH4 в объемном самостоятельном разряде, зажигаемом в смеси SiF4: H2. Величины энергетической цены синтеза SiHF3 по энергии, запасенной в конденсаторе системы формирования разряда, и по энергии, введенной в газоразрядную плазму, составили соответственно Q ≈ 57 кВт-ч/кг (182 эВ/молекула) и Q ≈ 9 кВт-ч/кг (91 эВ/молекула). Установлено, что в диапазоне давлений смеси Р =60÷350 Торр энергетическая цена не зависит от давления.