Архив статей

Формирование общего контакта в мезапланарных матрицах фоточувствительных элементов на основе гетероэпитаксиальных структур InGaAs/InP (2014)
Выпуск: №4 (2014)
Авторы: Андреев Дмитрий Сергеевич, Гришина Татьяна Николаевна, Мищенкова Татьяна Николаевна, Чинарева Инна Викторовна, Тришенков Михаил Алексеевич

Авторами показано, что при изготовлении матриц фоточувствительных элементов на гетероструктурах InGaAs/InP по мезапланарной технологии использование травителя HCl: HNO3: CH3COOH: H2O2 = 1:6:1:1 позволило воспроизводимо получать мезаструктуры глубиной 3÷7 мкм с полированной боковой поверхностью и углом наклон мезаструктуры 60°.

Сохранить в закладках