Архив статей

Синтез в СВЧ-плазме поликристаллических алмазных слоёв на тонких пластинах кремния большого диаметра (2020)
Выпуск: № 5 (2020)
Авторы: Седов Вадим Станиславович, Мартьянов Артем Константинович, Алтахов Александр Сергеевич, Шевченко Михаил Юрьевич, Заведеев Евгений Викторович, Занавескин Максим Леонидович, Ральченко Виктор Григорьевич, Конов Виталий Иванович

Рекордная теплопроводность алмаза (до 24 Вт/см К) делает его предпочтительным материалом теплоотводов в электронике. Для практического решения таких задач слои поликристаллического алмаза (ПКА) должны быть синтезированы на подложках диаметром не менее 2 дюймов методом химического осаждения из газовой фазы. Типичными проблемами для таких ПКА пленок являются неоднородность и высокие значения механических напряжений, связанных с различием коэффициентов теплового расширения алмаза и кремния. В данной работе на основе моделирования электронного поля был разработан, изготовлен и затем испытан в СВЧ-реакторе ARDIS-100 держатель пьедестальной геометрии. С использованием такого держателя на подложке кремния толщиной 0,35 мм и диаметром 2 дюйма был синтезирован слой ПКА толщиной 80 мкм. Структура и фазовый состав синтезированного образца изучались методами растровой электронной микроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния. Прогиб двухдюймовой пластины «Алмаз-на-Si», измеренный с помощью интерферометра белого света, составлял ~50 мкм. Полученные результаты могут быть использованы для изготовления теплоотводящих ПКА слоёв для применения в электронике.

Сохранить в закладках