Архив статей

Влияние условий напыления на микроструктуру пленок индия (2012)

Представлены результаты исследования влияния чистоты исходной поверхности, давления остаточных газов в вакуумной камере, скорости напыления и других факторов на микрокристаллическую структуру слоев индия.