ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (МЭС)

Архив статей журнала

ФОРМИРОВАНИЕ СЛОЕВ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ ДЛЯ СОЗДАНИЯ ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ И КОМПОЗИТНЫХ СТРУКТУР (2022)
Выпуск: № 3 (2022)
Авторы: Гревцов Никита Леонидович, Лопато У. П., Чубенко Евгений Борисович, Бондаренко Виталий Парфирович, Гаврилин Илья Михайлович, Дронов Алексей Алексеевич, Гаврилов Станислав Анатольевич

Исследована структура слоев пористого кремния, сформированных при различных плотностях тока и продолжительностях анодной электрохимической обработки. Произведен статистический анализ распределения по размерам (диаметрам пор и толщине скелета) элементов матрицы пористого кремния, полученного в различных режимах анодирования. Разработана методика удаления приповерхностного слоя пористого кремния, вызывающего трудности при электрохимическом заполнении каналов пор металлами, и оценен эффект данной операции на структурные параметры внутренних областей пористого кремния. Даны рекомендации касательно применения слоев пористого кремния в составе гетероэпитаксиальных структур и нанокомпозитов на основе пористого кремния и германия, позволяющих обеспечить возможность реализации более оптимальных подходов к синтезу высокоэффективных термоэлектрических устройств.

Сохранить в закладках