ПРОБЛЕМЫ РАЗРАБОТКИ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ (МЭС)

Архив статей журнала

СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП ВЕГА - СИСТЕМА ДЛЯ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ (2022)
Выпуск: № 3 (2022)
Авторы: Быков Виктор Александрович, Быков Александр Викторович, Бобров Юрий Анатольевич, Котов Владимир Васильевич, Леесмент Станислав Игоревич, Поляков Вячеслав Викторович

Изложены возможности нового прибора разработки Компании ООО «НТ-МДТ» - сканирующего зондового микроскопа «ВЕГА», способного работать с образцами размером до 200х200х40 мм с предельным для атомно-силовой микроскопии разрешением для исследования свойств и метрологического контроля поверхностных наноструктур микро и наноэлектроники.

Сохранить в закладках