Доклад: Исследование процесса плазменного травления альфа-кремния для МЭМС-применений
                            Докладчик                        
                                        
                
                            Соавтор(ы)                        
                                        
                        Юркин Н. О., Платонов Д. Д.                    
                
                            Тип доклада                        
                                        
                        Устный                    
                
                            Дата и время                        
                                        
                        четверг, 25 сен (начало в 12:30)                    
                Видео запись
                                Видео доклада ещё не загружено.                            
                        Статистика доклада
Статистика просмотров за 2025 год.
Обсуждение доклада
                        Новых тем пока нет
                        
                            Создайте тему для обсуждения, если у вас есть вопросы или предложения по докладу.
        Другие доклады секции: 10    
    
                                                                                    11:00 | 
                                                    
                         Кофе-брейк                    
                                
                            
                                                                                    12:30 | 
                                                    
                        Исследование процесса плазменного травления альфа-кремния для МЭМС-применений                    
                                
                            
                                                                                    12:45 | 
                                                    
                        Дискуссии, вопросы                    
                                
                            
                                                                                    13:00 | 
                                                    
                         Обед                    
                                
                            






