Доклад: Исследование процесса плазменного травления альфа-кремния для МЭМС-применений

Автор(ы)
Соловьев А. А.
Соавтор(ы)
Юркин Н. О., Платонов Д. Д.
Тип доклада
Устный

Видео запись

Видео доклада ещё не загружено.

Статистика доклада

Статистика просмотров за 2025 - 2026 год.

Обсуждение доклада

Новых тем пока нет

Создайте тему для обсуждения, если у вас есть вопросы или предложения по докладу.

Другие доклады секции: 10
09:40 | PECVD-СИНТЕЗ ПЛЕНОК КРТ ДЛЯ ИК-ДЕТЕКТОРОВ
Телегин Сергей ВладимировичНижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
11:00 | Кофе-брейк
11:45 | Синтез высокочистых базовых материалов для опто и фотоэлектроники
Мочалов Леонид АлександровичНижегородский государственный университет имени Н.И. Лобачевского
12:30 | Исследование процесса плазменного травления альфа-кремния для МЭМС-применений
12:45 | Дискуссии, вопросы
13:00 | Обед