Статья: Влияние плазмохимической обработки на электрические свойства фотодиодов на основе гетероструктур InGaAsP/InP

Скачать

Исследовано воздействие на поверхность p-n-переходов на основе гетероструктур InGaAs/InP, изготовленных по мезатехнологии, плазмы хладона-14. В ходе экспериментов варьировались составы газовой смеси, температура и время плазмохимической обработки. Оценивался уровень темнового тока p-n-перехода, а также состояние приповерхностного слоя p-n-перехода (структурное совершенство, оптические параметры, состав) до и после обработки.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Андреев Дмитрий
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2014
Автор(ы): Андреев Д. С., Будтолаева А. К., Огнева О. В., Чинарева И. В.
Ключевые фразы: InGaAs, мезаструктура, темновой ток, плазмохимическая обработка, пассивация поверхности
Каталог SCI: Физика
УДК: 621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2026 год.

Ранее вы смотрели (5)

01. Статья: ДИЗАЙН КАК ТВОРЧЕСКАЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ И ПРОЕКТНАЯ КУЛЬТУРА

02. Статья: РЕДКИЙ СЛУЧАЙ СОЧЕТАНИЯ СИНДРОМА МНОЖЕСТВЕННЫХ ЭНДОКРИННЫХ НЕОПЛАЗИЙ И ВРОЖДЕННОЙ ДИСФУНКЦИИ КОРЫ НАДПОЧЕЧНИКОВ У ОДНОГО ПАЦИЕНТА

03. Статья: Проблема воли в дискурсе гуманитарной культуры

04. Статья: ВЛАДИМИР ИЛЬИЧ ЛЕНИН - ГЕНИЙ РУССКОГО ПРОРЫВА ВСЕГО ЧЕЛОВЕЧЕСТВА К СОЦИАЛИЗМУ, ЧЬЕ ИМЯ БУДЕТ ЖИТЬ ВЕЧНО НА ЗЕМЛЕ И ВО ВСЕЛЕННОЙ, ПОКА БУДЕТ ЖИТЬ И РАЗВИВАТЬСЯ ЧЕЛОВЕЧЕСТВО (100-ЛЕТИЮ ПАМЯТИ В.И. ЛЕНИНА ПОСВЯЩАЕТСЯ)

05. Статья: Проблемы изъятия электронного носителя информации в контексте участия специалиста и назначения судебных экспертиз

Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.

Создать тему для обсуждения

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.