Статья: Эффективность методов геттерирования высокоомного кремния для фотодиодов

Скачать

Проведено сравнение методов геттерирования при изготовлении фотодиодов на основе высокоомного кремния (p–i–n-фотодиодов). Эффективность геттерирования оценивалась по величине обратных токов фотодиодов при рабочем напряжении 200 В. Лучшие результаты получены на образцах с геттерированием методом диффузионного легирования фосфором нерабочей стороны пластины. Плотность обратных токов составила (2,3—3,4)10-9 А/мм2.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Будтолаев Андрей
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2015
Автор(ы): Будтолаев А. К., Евлентьев И. А., Либерова Г. В., Сиваченко С. Д., Степанюк В. Е.
Ключевые фразы: кремний, геттерирование, диффузия, фосфор, ионная имплантация, аргон, хлор
Каталог SCI: Физика
УДК: 621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
621.383. Фотоэлектроника

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2026 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Книга: Информатика. 7 класс

02. Книга: Скрябин

03. Книга: Привал на Эльбе

04. Статья: НАТУРНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ РУДНИЧНОЙ АТМОСФЕРЫ ПРИ ПОЛНОМ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ ЦИКЛЕ ДОБЫЧИ РУДЫ ИЗ ПРОТЯЖЕННЫХ ТУПИКОВЫХ КАМЕР БОЛЬШОГО СЕЧЕНИЯ

05. Книга: Строительные конструкции

06. Статья: СПЕЦИФИКА ТРАНСФЕРА ЗНАНИЙ ВО ФРАНЧАЙЗИНГЕ. КЕЙС БЬЮТИ-САЛОНА

07. Книга: Автоматизация организационно-технологического проектирования в строительстве

08. Книга: Архитектурные фантазии. 101 композиция в красках. 101 архитектурная миниатюра

09. Книга: Аспекты языковой картины мира: итальянский и русский языки

10. Книга: Раздвижные двери, перегородки и солнцезащитные устройства

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.