Статья: Особенности микро- и наноразмерных дефектов в кристаллах 4H-карбида кремния, выращенных методом высокотемпературной сублимации

Скачать

В процессе роста монокристаллов карбида кремния формируется развитая система различного рода дефектов, негативно влияющих на свойства полупроводникового материала. В кристаллах 4H-SiC, полученных на оборудовании компании PVA TePla (Германия), обнаружены характерные для микроразмерных дефектов статистически самоподобные поверхности раздела «поры-твердое тело» с фрактальными размерностями 2,20–2,60. Рентгеновское малоугловое рассеяние позволило зафиксировать структурные неоднородности в виде пор и их кластеров наномасштабного уровня. Построены функции распределения частиц по радиусам инерции и показано, что основная доля пор приходится на маломасштабные образования с радиусами инерции 25–30 Å. Поры и их кластеры формируют изогнутые цепочки с фрактальными размерностями 1,26–1,84. Структурные неоднородности масштаба 40–110 Å рассеивают рентгеновское излучение как шероховатые поверхности с фрактальными размерностями 2,31–2,95.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Неверов Вячеслав
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 2307-4469
EISSN: 2949-5636
Журнал: Успехи прикладной физики
Год публикации: 2018
Автор(ы): Неверов В. А.
Ключевые фразы: карбид кремния, структурные неоднородности, радиус инерции, фрактальная размерность
Каталог SCI: Физика
УДК: 538.971. Физика поверхностей и границ раздела (включая эмиссию и столкновение)

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2026 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Статья: ТЕНДЕНЦИИ РАЗВИТИЯ ПЕНИТЕНЦИАРНОЙ АКАДЕМИЧЕСКОЙ НАУКИ: ИНТЕРВЬЮ С ЗАМЕСТИТЕЛЯМИ РУКОВОДИТЕЛЯ ВУЗА РАЗНЫХ ЛЕТ, ОТВЕЧАВШИМИ ЗА РАЗВИТИЕ НАУЧНОЙ РАБОТЫ (ПРИУРОЧЕНО К 90-ЛЕТИЮ АКАДЕМИИ ФСИН РОССИИ)

02. Книга: Тяжелые металлы в системе почва-растение

03. Книга: Сверхзвезды

04. Книга: Эксперимент по курсу элементарной физики. Часть 3.

05. Книга: Громкоговорители

06. Книга: Курс органической химии

07. Статья: «ТАШТЫКСКИЕ» ГРАВИРОВКИ ФИГУР В ДЛИННОПОЛЫХ ОДЕЖДАХ, СРЕДНЕВЕКОВАЯ КИТАЙСКАЯ КАРТИНА «КОЧЕВНИКИ» И КОНТАКТЫ МОНГОЛОВ С КЫРГЫЗАМИ

08. Книга: Фейнмановские лекции по физике. Том 6.

09. Статья: Проактивность и проактивное поведение малоимущих студентов: изучение явных и неявных установок

10. Статья: ВЛИЯНИЕ ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО СТРЕССА НА ВОВЛЕЧЁННОСТЬ СОТРУДНИКОВ: ПОСРЕДНИЧЕСКАЯ РОЛЬ УДОВЛЕТВОРЁННОСТИ РАБОТОЙ

Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.

Создать тему для обсуждения

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.