Статья: Характеристики ВЧ катода-нейтрализатора при использовании аргона в качестве рабочего газа

Скачать

Представлены первые результаты экспериментального исследования характеристик катода-нейтрализатора, рабочий процесс которого основан на индуктивном ВЧ-разряде в аргоне. Рассмотрен диапазон расходов аргона 4–10 см3/мин, диапазон мощностей ВЧ-генератора 35–150 Вт. Показано, что при достижении порогового значения напряжения между коллектором ионов и положительно заряженным относительно коллектора электродом (анодом) наблюдается скачкообразный рост электронного тока.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Бондаренко Дмитрий
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Префикс DOI: 10.51368/1996-0948-2022-3-11-16
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2022
Автор(ы): Бондаренко Д. А., Вавилин К. В., Двинин С. А., Задириев И. И., Кралькина Е. А., Маринин С. Ю., Никонов А. М., Лобастов И. А., Селиванов М. Ю.
Ключевые фразы: катод-нейтрализатор, индуктивный, высокочастотный, разряд, плазма, ионы, ток электронов, cathode-neutralizer, inductive, radio-frequency, discharge, plasma, ions, electron current
Каталог SCI: Физика
УДК: 537.525.7. Кольцевые разряды. Безэлектродные разряды

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Ранее вы смотрели (3)

01. Статья: СИСТЕМА ОЦЕНКИ ЧЕЛОВЕЧЕСКОГО КАПИТАЛА ХОЗЯЙСТВУЮЩИХ СУБЪЕКТОВ

02. Статья: МЕТОДИКА ОЦЕНКИ ЗАЩИЩЕННОСТИ ЧЕЛОВЕКО-МАШИННОГО ИНТЕРФЕЙСА ДЛЯ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО РАБОЧЕГО МЕСТА ИНТЕГРИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ БЕЗОПАСНОСТИ

03. Статья: К ЮБИЛЕЮ ЗАСЛУЖЕННОГО ПРОФЕССОРА ТОМСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО УНИВЕРСИТЕТА ВЕРЫ МИХАЙЛОВНЫ ПОДОБИНОЙ: УЧЕНЫЙ С МИРОВЫМ ИМЕНЕМ

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.