Статья: Механические и трибологические свойства a-C:H:SiOx пленок, полученных плазмохимическим методом с использованием импульсного биполярного напряжения смещения подложки

Скачать

Получены образцы a-C:H:SiOx пленок на подложках из кремния, нержавеющей ста-ли AISI 316L и сплава ВК-8 методом плазмохимического осаждения с использованием импульсного биполярного напряжения смещения подложки. Показана возможность нанесения a-C:H:SiOx пленки толщиной более 7 мкм с твердостью около 15 ГПа, высокой адгезионной прочностью и низкими внутренними напряжениями (менее 0,5 ГПа). Трибологические испытания показали, что пленки обладают низким коэффициентом трения (менее 0,08) и низкой скоростью износа (~10-7 мм3/Н∙м).

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Гренадёров Александр
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 2307-4469
EISSN: 2949-5636
Журнал: Успехи прикладной физики
Год публикации: 2020
Автор(ы): Гренадёров А. С., Соловьёв А. А., Оскомов К. В.
Ключевые фразы: алмазоподобный углерод, a-C:H:SiOx пленки, ТВЁРДОСТЬ, ИЗНОСОСТОЙКОСТЬ, diamond-like carbon, a-C:H:SiOx films, hardness, wear resistance
Каталог SCI: Физика
УДК: 539.216.2. Пленки. Тонкие пленки
539.219. Прочие свойства
538.951. механические и акустические

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Книга: Основы теоретической физики

02. Статья: Молекулярно-генетические детерминанты вирулентности Streptococcus agalactiae, выделенных у беременных и новорождённых Санкт-Петербурга и Ленинградской области в 2010–2023 годах

03. Статья: СТРАТЕГИРОВАНИЕ КООРДИНАЦИИ ОРГАНИЗАЦИЙ СТРОИТЕЛЬНОГО КОМПЛЕКСА СТРАН БРИКС В УСЛОВИЯХ ЭКОНОМИКИ ДАННЫХ

04. Статья: САКРАЛЬНЫЙ, ХУДОЖЕСТВЕННЫЙ И РЕЛИГИОЗНО-ХУДОЖЕСТВЕННЫЙ ТЕКСТЫ: ОПЫТ ТЕКСТОТИПОЛОГИЧЕСКОГО АНАЛИЗА

05. Статья: ДЕСКРИПТИВНЫЙ ПОДХОД В ОСМЫСЛЕНИИ ГЕНЕЗИСА ПЕСЕННОГО ДИСКУРСА

06. Статья: КОРПОРАТИВНАЯ СОЦИАЛЬНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ В УСЛОВИЯХ КОНКУРЕНЦИИ

07. Статья: ЭФФЕКТИВНОСТЬ СУДЕБНОЙ ВЛАСТИ В УРЕГУЛИРОВАНИИ ЭТНИЧЕСКИХ КОНФЛИКТОВ

08. Статья: ОСНОВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ РАЗВИТИЯ ИННОВАЦИОННЫХ ПРОЦЕССОВ В СЕЛЬСКОМ ХОЗЯЙСТВЕ ТАМБОВСКОЙ ОБЛАСТИ

09. Книга: История медицины. Избранные лекции

10. Статья: МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТВЕРДОСТИ И ГЛУБИНЫ ЗАКАЛЕННОГО СЛОЯ

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.