Реестр авторов и соавторов

Единый реестр авторов и соавторов научных работ на SciNetwork

Все Авторы

Климин Виктор Сергеевич

Область научных публикаций: фторидная плазма, плазмохимическое травление, back contact

Работы: 3

Лысенко Игорь Евгеньевич

Область научных публикаций: микроэлектроника, формирование структур, фторидная плазма

Работы: 1