Импульсный ВЧ индуктивный разряд как эффективный рабочий процесс сеточного ВЧ источника ионов (2023)
Экспериментально рассмотрен импульсный ВЧ-разряд как рабочий процесс сеточного ВЧ ионного источника. Показано, что при работе на таком разряде может быть получен прирост ионного тока по сравнению с непрерывным режимом работы. Этот прирост тем больше, чем больше разница между характерным временем падения ионного тока после выключения ВЧ-мощности и временем нарастания ионного тока при включении ВЧ-мощности. Оценены параметры пульсаций, при которых достигается максимизация ионного тока. Показано, что внешнее постоянное продольное магнитное поле в диапазоне 0–7,2 мТ немонотонно влияет на максимальное и равновесное значение ионного тока в импульсе, при этом темпы падения ионного тока после выключения ВЧ-мощности не изменяются.
The paper experimentally considers a pulsed RF discharge as a working process of an RF ion source. It is shown that when operating on such a discharge, an increase in the ion current can be obtained in comparison with the continuous mode of operation. This increase is the greater, the greater the difference between the characteristic time of the fall of the ion current after turning off the RF power and the rise time of the ion current when the RF power is turned on. The pulsation parameters at which the ion current is maximized are estimated. It is shown that an external constant longitudinal magnetic field in the range of 0–7.2 mT nonmonotonically affects the maximum and equilibrium value of the ion current in a pulse and does not affect the rate of decrease in the ion current after turning off the RF power.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- Префикс DOI
- 10.51368/2307-4469-2023-11-3-213-220
- eLIBRARY ID
- 54088011
