ISSN 1996-0948 · EISSN 2949-561X
Языки: ru · en

Статья: Сильноточный импульсный планарный магнетронный разряд с инжекцией электронов (2023)

Читать онлайн

Представлены результаты экспериментальных исследований разрядной системы на основе импульсного (200400 мкс, 525 Гц) сильноточного (530 А) планарного магнетронного разряда с мишенью диаметром 125 мм и дополнительной инжекцией электронов из вакуумного дугового разряда. Инжекция электронов в магнетронный разряд осуществляется с обратной стороны распыляемой мишени через центральное отверстие, что обеспечивает дополнительное ускорение инжектируемых электронов в катодном слое магнетронного разряда и увеличение энергетической эффективности разрядной системы. Исследован масс-зарядовый состав ионов генерируемой плазмы при снижении рабочего давления вплоть до предельно низкого уровня 0,2 мТорр. Получены условия обеспечения высокой доли ионов материала мишени в генерируемой плазме, в том числе в диапазоне низких значений рабочего давления, где стандартный магнетронный разряд характеризуется увеличением доли ионов рабочего газа и переходит в высоковольтную слаботочную форму.

The results of experimental studies of a discharge system based on a pulsed (200400 s, 525 pps) high-current (530 A) planar magnetron discharge with a target diameter of 125 mm and additional electron injection from a vacuum arc discharge are presented. The injection of electrons into the magnetron discharge is carried out from the back of the sputtered target through the central aperture, which provides additional acceleration of the injected electrons in a cathode layer of the magnetron discharge and an increase in the energy efficiency of the discharge system. The mass-to-charge ion composition of the generated plasma has been studied in a range of operating pressure up to an extremely low level of 0,2 mTorr. The conditions for achieve a high fraction of target material ions in magnetron plasma are defined, including in the range of low operating pressure range, where the typical magnetron discharge is characterized by an increase of a working gas ions fraction, transition into a low-current form, or is not realized at all.

Ключевые фразы: магнетронный разряд, инжекция электронов, масс-зарядовый состав плазмы, magnetron discharge, electron injection, ion mass-to-charge composition
Автор (ы): Шандриков Максим Валентинович
Соавтор (ы): Черкасов Александр Алексеевич, Окс Ефим
Журнал: Прикладная физика

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.525. Электрические разряды в газах при пониженном давлении. Тлеющие разряды
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2023-5-41-45
eLIBRARY ID
54723960
Для цитирования:
ШАНДРИКОВ М. В., ЧЕРКАСОВ А. А., ОКС Е. СИЛЬНОТОЧНЫЙ ИМПУЛЬСНЫЙ ПЛАНАРНЫЙ МАГНЕТРОННЫЙ РАЗРЯД С ИНЖЕКЦИЕЙ ЭЛЕКТРОНОВ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2023. № 5
Текстовый фрагмент статьи