Представлены результаты экспериментальных исследований разрядной системы на основе импульсного (200400 мкс, 525 Гц) сильноточного (530 А) планарного магнетронного разряда с мишенью диаметром 125 мм и дополнительной инжекцией электронов из вакуумного дугового разряда. Инжекция электронов в магнетронный разряд осуществляется с обратной стороны распыляемой мишени через центральное отверстие, что обеспечивает дополнительное ускорение инжектируемых электронов в катодном слое магнетронного разряда и увеличение энергетической эффективности разрядной системы. Исследован масс-зарядовый состав ионов генерируемой плазмы при снижении рабочего давления вплоть до предельно низкого уровня 0,2 мТорр. Получены условия обеспечения высокой доли ионов материала мишени в генерируемой плазме, в том числе в диапазоне низких значений рабочего давления, где стандартный магнетронный разряд характеризуется увеличением доли ионов рабочего газа и переходит в высоковольтную слаботочную форму.
The results of experimental studies of a discharge system based on a pulsed (200400 s, 525 pps) high-current (530 A) planar magnetron discharge with a target diameter of 125 mm and additional electron injection from a vacuum arc discharge are presented. The injection of electrons into the magnetron discharge is carried out from the back of the sputtered target through the central aperture, which provides additional acceleration of the injected electrons in a cathode layer of the magnetron discharge and an increase in the energy efficiency of the discharge system. The mass-to-charge ion composition of the generated plasma has been studied in a range of operating pressure up to an extremely low level of 0,2 mTorr. The conditions for achieve a high fraction of target material ions in magnetron plasma are defined, including in the range of low operating pressure range, where the typical magnetron discharge is characterized by an increase of a working gas ions fraction, transition into a low-current form, or is not realized at all.
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- Префикс DOI
- 10.51368/1996-0948-2023-5-41-45
- eLIBRARY ID
- 54723960