1. El-Sheimy N., Youssef A. Inertial sensors technologies for navigation applications: state of the art and future trends. Satell. Navig., 2020, vol. 1, no. 1, art. 2. DOI: 10.1186/s43020-019-0001-5 EDN: JWQIYL
2. Chircov C., Grumezescu A.M. Microelectromechanical systems (MEMS) for biomedical applications. Micromachines, 2022, vol. 13, no. 2, art. 164. DOI: 10.3390/mi13020164 EDN: QKLTYV
3. Баклыков Д.А. Исследование и разработка физико-технологических методов создания оптических микроэлектромеханических систем. Дис.... канд. техн. наук. М., МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2024.
4. Liu A.Q. Photonic MEMS devices. CRC Press, 2018.
5. Maluf N., Willliams K. An introduction to MEMS. Artech House, 2004.
6. Chen W., Jin L., Wang Z., et al. Design and demonstration of an in-plane micro-optical-electro-mechanical-system accelerometer based on Talbot effect of dual-layer gratings. Micromachines, 2023, vol. 14, no. 7, art. 1301. DOI: 10.3390/mi14071301 EDN: ZQRJEW
7. Zhou F., Bao Y., Madugani R., et al. Broadband thermomechanically limited sensing with an optomechanical accelerometer. Optica, 2021, vol. 8, no. 3, pp. 350-356. DOI: 10.1364/OPTICA.413117 EDN: VDPTPK
8. Niklaus F., Vieider C., Jakobsen H. MEMS-based uncooled infrared bolometer arrays: a review. Proc. SPIE, 2008, vol. 6836, pp. 125-139. DOI: 10.1117/12.755128 EDN: PTZPLH
9. Hortschitz W., Steiner H., Sachse M., et al. An optical in-plane MEMS vibration sensor. IEEE Sens. J., 2011, vol. 11, no. 11, pp. 2805-2812. DOI: 10.1109/JSEN.2011.2169781
10. Vigna B., Ferrari P., Villa F., et al. Silicon sensors and actuators. Cham, Springer, 2022. DOI: 10.1007/978-3-030-80135-9
11. Androniс M.M., Rodionov I.A., Tsvetkov Yu.B. Digital design as a key approach to shortening MEMS development cycle. ITM Web Conf., 2020, vol. 35, art. 01003. DOI: 10.1051/itmconf/20203501003
12. Зинченко Л.А., Власов А.И., Шахнов В.А. и др. Наноинженерия и инфокоммуникационные технологии. Вестник РФФИ, 2015, № 3, c. 97-103. EDN: UYZXRP
13. Merrell E., Kelly R., Kasmier D., et al. Benefits of realist ontologies to systems engineering. OntoCom 2021: 8th Int. Workshop on Ontologies and Conceptual Modeling, 2021. URL: https://www.ll.mit.edu/sites/default/files/publication/doc/benefits-realist-ontologies-systems-engineering-merrell-130635.pdf (дата обращения: 20.12.2025).
14. Whetzel P., Noy N., Shah N., et al. BioPortal: enhanced functionality via new Web services from the National Center for Biomedical Ontology to access and use ontologies in software applications. Nucleic Acids Res., 2011, vol. 39, no. S2, pp. 541-545. DOI: 10.1093/nar/gkr469
15. Пильник И.С., Баклыков Д.А., Цветков Ю.Б. Онтологическое моделирование оптических микроэлектромеханических систем. XVI Всерос. конф. молод. уч. и спец. (c междунар. участ.) “Будущее машиностроения России”. Т. 2. М., Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2024, с. 266-272. EDN: EJVROC
16. Tsvetkov Yu.B., Rodionov I.A., Baklykov D.A., et al. Ontological modeling as a means of enhancing the efficiency of MEMS creation. 7th REEPE, 2025. DOI: 10.1109/REEPE63962.2025.10971080 EDN: AOHWZW
17. Загорулько Г.Б. Разработка онтологии для интернет-ресурса поддержки принятия решений в слабоформализованных областях. Онтология проектирования, 2016, т. 6, № 4, c. 485-500. EDN: XCRJGR
18. Загорулько Ю.А., Боровикова О.И. Подход к реализации паттернов содержания при разработке онтологий научных предметных областей. Системная информатика, 2018, № 12, c. 27-40. DOI: 10.31144/si.2307-6410.2018.n12.p27-40 EDN: YQVJRB
19. Загорулько Ю.А., Боровикова О.И. Проблемы построения онтологий научных предметных областей на основе паттернов онтологического проектирования. Информационные технологии и системы. Тр. 7 Всерос. науч. конф. Ханты-Мансийск, ЮНИИИТ, 2019, c. 157-161. EDN: ZYSRFR
20. Gaona E., Gaona P., Montenegro C. Dispositivos de conmutacion optica en redes de nueva generacion. Ingenium Revista de la Facultad de Ingenieria, 2013, vol. 14, no. 27, pp. 25-40. DOI: 10.21500/01247492.2592