Для увеличения плотности элементов микросхем при фотолитографии предложено использовать лазерно-плазменные источники при оптическом пробое. Наивысшая эффективность генерации излучения в рентгеновском диапазоне на длине волны 6,7 нм достигается при использовании плазмы тугоплавких редкоземельных элементов гадолиния и иттербия в газовой фазе. Рассматриваются основные параметры и варианты построения устройства формирования мишени для оптического пробоя на основе аналога – электродугового источника плазмы на парах щелочно-го металла. Проведено исследование требований к устройству: выполнены термо- и газодинамические расчеты и оценки. В качестве нагревателя предложено использовать нагрев генератором электронного пучка на основе открытого разряда в буферном газе. Выполнены расчеты длины пробега электронов и плотности энерговыделения в плазме. Приведены оценки энергетической эффективности создания мишени при нагреве устройства пучком электронов.
To increase the density of chip elements during photolithography, it is proposed to use laser-plasma sources during optical breakdown. The highest efficiency of generating radiation in the X-ray range at a wavelength of 6.7 nm is achieved by using plasma of refractory rare-earth elements such as gadolinium and terbium in the gas phase. The article discusses the main parameters and options for constructing a target formation device for optical break-down based on an analogue, an electric arc plasma source using alkali metal vapor. A study of the device requirements was conducted, and thermo- and gas-dynamic calculations and assessments were performed. It was proposed to use an electron beam generator based on an open discharge in a buffer gas as a heater. Calculations were performed for the electron path length and energy density. Estimates were made of the energy efficiency of creating a target by heating the device with an electron beam.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- Префикс DOI
- 10.51368/2307-4469-2026-14-1-52-70
- eLIBRARY ID
- 89049065
Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.