Статья: Исследования керамической мембраны резонансно-частотного датчика давления (2025)

Читать онлайн

Проведено сравнительное исследование влияния материалов мембраны – монокристаллического кремния и оксида алюминия на температурный дрейф частот композитных резонаторов. На основе упрощенной трехмерной модели, состоящей из участка мембраны и резонатора, проведен численный расчет тепловых деформаций модели. Показан характер тепловых деформаций резонатора на мембранах из кремния и керамики. По результатам исследования была изготовлена керамическая мембрана методом лазерного травления. С помощью численного моделирования показано, что использование керамической мембраны позволяет существенно снизить термические напряжения за счёт согласования коэффициентов теплового расширения мембраны и резонатора. По результатам испытания метода лазерного травления для формирования керамических мембран установлено, что при превышении глубины травления керамической подложки более 150 мкм наблюдается выраженная деформация поверхности и рост шероховатости, что негативно сказывается на чувствительности и стабильности датчиков.

This paper presents a comparative study of the influence of membrane materials – singlecrystal silicon and aluminum oxide – on the temperature-induced frequency drift of composite resonators. A simplified three-dimensional model consisting of a membrane section and a resonator was used to numerically calculate the model’s thermal deformations. The nature of the resonator’s thermal deformations is demonstrated for membranes made of silicon and ceramics. Based on the study’s results, a ceramic membrane was fabricated using laser etching. Numerical modeling demonstrated that the use of a ceramic membrane significantly reduces thermal stresses by matching the thermal expansion coefficients of the membrane and resonator. Testing the laser etching method for forming ceramic membranes revealed that, when the etching depth of the ceramic substrate exceeds 150 μm, significant surface deformation and increased roughness are observed, which negatively impacts the sensitivity and stability of the sensors.

Ключевые фразы: МЕМБРАНА, резонатор, МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ, тепловые напряжения, лазерное травление, шероховатость
Автор (ы): Вторушин Сергей Евгеньевич, Таловская Алёна Алексеевна, Барбин Евгений Сергеевич, Кулинич Иван Владимирович, Бабошко Дмитрий Вадимович
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
534-16. в твердых телах
Для цитирования:
ВТОРУШИН С. Е., ТАЛОВСКАЯ А. А., БАРБИН Е. С., КУЛИНИЧ И. В., БАБОШКО Д. В. ИССЛЕДОВАНИЯ КЕРАМИЧЕСКОЙ МЕМБРАНЫ РЕЗОНАНСНО-ЧАСТОТНОГО ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2025. ТОМ 13, №6
Текстовый фрагмент статьи