Статья: Влияние электронно-лучевой обработки на оптические и поверхностные свойства кварцевых стекол (2018)

Читать онлайн

Представлены результаты исследований процессов модификации поверхности кварцевых стекол при облучении их пучком электронов с энергией 5–15 кэВ и плотностью мощности 104 Вт/см2. Показано, что при сканировании поверхности стекла пучком электронов с энергией более 10 кэВ в приповерхностном слое формируются продольные каналы, глубина которых зависит от энергии электронного пучка и скорости его перемещения по поверхности. Снижение скорости сканирования до 10 см/с приводит к формированию серии кратеров. При энергии электронов менее 5 кэВ видимых изменений поверхности не происходит. Изменение морфологии облученного стекла приводит к повышению гидрофобности поверхности, а также к снижению коэффициента пропускания для коротковолновой области спектра.

The results of studies the processes of modification of the quartz glasses surface by an electron beam with energy of 5–15 keV and a power density of 104 W / cm2 are presented. It is shown that at scanning a glass surface with a beam of electrons with energy of more than 10 keV, longitudinal channels are formed in the near-surface layer, the depth of which depends on the energy of the electron beam and the speed of its movement along the surface. Reducing the scanning speed to 10 cm / s leads to the formation of a series of craters. At electron energy of less than 5 keV, no visible surface changes occur. A change in the morphology of irradiated glass leads to an increase in the hydrophobicity of the surface, as well as to a decrease in the transmittance for the short-wavelength region.

Ключевые фразы: электронно-лучевая обработка, форвакуумная область давлений, модификация поверхности стекла, кварцевое стекло
Автор (ы): Зенин Алексей Александрович, Климов Александр Сергеевич, Окс Ефим Михайлович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.533.9. Действие пучков электронов
eLIBRARY ID
35193307
Для цитирования:
ЗЕНИН А. А., КЛИМОВ А. С., ОКС Е. ВЛИЯНИЕ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКИ НА ОПТИЧЕСКИЕ И ПОВЕРХНОСТНЫЕ СВОЙСТВА КВАРЦЕВЫХ СТЕКОЛ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2018. №3
Текстовый фрагмент статьи