Статья: Определение толщины эпитаксиальных слоев гетеропары AlGaAs/GaAs методом электрохимического вольт-фарадного профилирования (2019)

Читать онлайн

Разработана методика вычисления толщин эпитаксиальных слоев GaAs и AlGaAs, применяемых в технологии изготовления матричных фотоприемных устройств с квантоворазмерной активной областью (QWIP), чувствительных в спектральном диапазоне 8–10 мкм. Реализована имитационная модель гетероперехода AlGaAs-GaAs со слоями, имеющими разные степени легирования, для использования в методике электрохимического вольт-фарадного профилирования (ECV). Проведен расчет границы гетероперехода для структур, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии, из экспериментально полученных профилей концентрации носителей заряда по толщине структуры. Полученные с помощью данной методики на основе ECVпрофилирования значения концентраций носителей заряда и толщин эпитаксиальных слоев позволили оптимизировать условия роста гетероэпитаксиальных структур с множественными квантовыми ямами для QWIP-фотоприемников.

The distribution of the charge carrier density along the thickness of the heteroepitaxial structures has a significant effect on the characteristics of the photodetector device, so we need to improve the characterization of the materials. The electrochemical capacitance-voltage (ECV) profiling allows to determine the concentration of charge carriers at a depth up to 50 microns. In this paper, we present our the latest results of the AlGaAs/GaAs heteroepitaxial structures investigations by means of ECV-profiling. Modeling of AlGaAs/GaAs epitaxial structures thickness from ECV-profiles has been made. Electrochemical capacitance-voltage profiling was integrated in technological analysis.

Ключевые фразы: электрохимическое вольт-фарадное профилирование, гетеропара algaasgaas, концентрация носителей заряда, толщина эпитаксиального слоя, молекулярно-лучевая эпитаксия, гетероэпитаксиальная структураэлектронно-оптический преобразователь, автоэмиссионный фотокатод, инфракрасное излучение, пироэлектрическая матрица, прибор ночного видения, тепловидение
Автор (ы): Гончаров Валерий Евгеньевич, Никонов Антон Викторович, Ильясов Артем Камильевич, Арич Олеся Дмитриевна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
620.183.27. электролитическим травлением
eLIBRARY ID
38570413
Для цитирования:
ГОНЧАРОВ В. Е., НИКОНОВ А. В., ИЛЬЯСОВ А. К., АРИЧ О. Д. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТОЛЩИНЫ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ ГЕТЕРОПАРЫ ALGAAS/GAAS МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ВОЛЬТ-ФАРАДНОГО ПРОФИЛИРОВАНИЯ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2019. №3
Текстовый фрагмент статьи