Статья: Динамики переключения кремниевой пластины из низкотемпературного в высокотемпературное состояние при бистабильном режиме радиационного теплообмена с элементами лампового реактора (2025)

Читать онлайн

Проведено экспериментальное и теоретическое исследование динамики переключения кремниевой пластины из низкотемпературного в высокотемпературное состояние в термическом реакторе установки термоградиентной обработки пластин в отсутствие термодинамического равновесия. При моделировании процесса переключения кремниевой пластины учтена зависимость температуры поглощения излучения от температуры нагревателя. Выполнено сравнение экспериментальных данных и результатов численного моделирования. Показано, что при значениях переключающего сигнала на ламповом блоке реактора, превышающем критическое значение, наблюдается существенное замедление динамики переключения системы между устойчивыми состояниями вблизи точки бифуркации, заметно увеличивающее время переключения пластины

The switching dynamics of a silicon wafer from low temperature to high temperature states in the thermal reactor of the thermogradient treatment setup has been experimentally and theoretically carried out under conditions far from thermodynamic equilibrium. The simulation of the switching process in the silicon wafer has been considered with regard to radiative absorber temperature versus temperature of heater. The comparison of the experimental data and the calculated results has been made. It is shown that when the control switching signal values on the lamp block of the reactor exceed the critical value, the effect of critical delay (slowing down) has been observed, significantly increasing the switching time of the wafer.

Автор (ы): Овчаров Владимир Викторович
Соавтор (ы): Куреня Алексей Леонидович, Пригара Валерия Павлавна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

УДК
536. Термодинамика
Для цитирования:
ОВЧАРОВ В. В., КУРЕНЯ А. Л., ПРИГАРА В. П. ДИНАМИКИ ПЕРЕКЛЮЧЕНИЯ КРЕМНИЕВОЙ ПЛАСТИНЫ ИЗ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОГО В ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОЕ СОСТОЯНИЕ ПРИ БИСТАБИЛЬНОМ РЕЖИМЕ РАДИАЦИОННОГО ТЕПЛООБМЕНА С ЭЛЕМЕНТАМИ ЛАМПОВОГО РЕАКТОРА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2025. №4
Текстовый фрагмент статьи