Статья: Метрологическое обеспечение цифровых измерений изображений неоднородности ямок травления в монокристаллах GaAs (2025)

Читать онлайн

Проведен анализ поля яркости панорамных изображений дислокационной структуры монокристаллов GaAs (100), выращенных методом Чохральского. Алгоритм порога бинаризации был выбран на основе учета закономерностей формирования поля яркости. Отличия в виде распределения значений интенсивности яркости пикселов (в 256 оттенках серого) были оценены по величинам коэффициентов асимметрии и эксцесса Показано, что при сшивке отдельных кадров может сформироваться характерный «темный каркас» (сетка) в местах наложения отдельных кадров. Установлено, что при асимметричном характере распределения экспериментальных выборок результатов измерений элементов структуры оценки их различий или сходства по критерию Стьюдента и Смирнова могут не совпадать.

An analysis of the brightness field of panoramic images of the dislocation structure of GaAs (100) single crystals grown by the Czochralski method was performed. The binarisation threshold algorithm was selected based on the patterns of brightness field formation. Differ-ences in the distribution of pixel brightness values (in 256 shades of grey) were evaluated by the values of asymmetry and excess coefficients. It was shown that when individual frames are stitched together, a characteristic ‘dark frame’ may form at the points where individual frames overlap. It has been established that, given the asymmetric nature of the distribution of experimental samples of measurement results for structural elements, the assessment of their differences or similarities according to the Student’s and Smirnov’s criteria may not co-incide.

Ключевые фразы: метод Чохральского, aiiibv, GaAs, фигуры травления, ПЛОТНОСТЬ ДИСЛОКАЦИЙ, СВЕТОВАЯ МИКРОСКОПИЯ, цифровая обработка изображения
Автор (ы): Комаровский Никита Юрьевич
Соавтор (ы): Князев Станислав Николаевич, Суханова Анна Сергеевна, Антонова Валерия Евгеньевна , Молодцова Елена Владимировна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

УДК
621.039.3. Разделение изотопов
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2025-4-59-67
Для цитирования:
КОМАРОВСКИЙ Н. Ю., КНЯЗЕВ С. Н., СУХАНОВА А. С., АНТОНОВА В. Е., МОЛОДЦОВА Е. В. МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ЦИФРОВЫХ ИЗМЕРЕНИЙ ИЗОБРАЖЕНИЙ НЕОДНОРОДНОСТИ ЯМОК ТРАВЛЕНИЯ В МОНОКРИСТАЛЛАХ GAAS // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2025. №4
Текстовый фрагмент статьи