ISSN 1996-0948 · EISSN 2949-561X
Языки: ru · en

Статья: Физические процессы в маломощном индуктивном источнике плазмы в слабом внешнем магнитном поле (2021)

Читать онлайн

Исследовано влияние внешнего магнитного поля с индукцией менее 150 Гс на картину вложения мощности в маломощный индуктивный разряд и на структуру продольных ВЧ-полей в плазме разряда. Показано, что вложение ВЧ-мощности в разрядную плазму, а также распределения амплитуды и фазы продольной компоненты магнитного ВЧ-поля вдоль оси системы немонотонно зависят от величины магнитного поля.

Research into the influence of a weak external magnetic field (<150 G) on the efficiency of power coupling to plasma and on the structure of axial RF fields in plasma is presented. Power coupling to the discharge plasma as well as the structure of the axial component of RF magnetic fields are shown to depend on the external magnetic field’s magnitude in a nonmonotous manner.

Ключевые фразы: индуктивный разряд, геликонный источник плазмы, волновые процессы в плазме, inductively coupled discharge, helicon plasma source, wave phenomena in plasma
Автор (ы): Ивандиков Фёдор Игоревич
Соавтор (ы): Задириев Илья Игоревич, Кралькина Елена Александровна
Журнал: Прикладная физика

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.9.07. Установки и аппаратура для изучения и создания плазмы
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2021-5-38-43
eLIBRARY ID
1051368199
Для цитирования:
ИВАНДИКОВ Ф. И., ЗАДИРИЕВ И. И., КРАЛЬКИНА Е. А. ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В МАЛОМОЩНОМ ИНДУКТИВНОМ ИСТОЧНИКЕ ПЛАЗМЫ В СЛАБОМ ВНЕШНЕМ МАГНИТНОМ ПОЛЕ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2021. № 5
Текстовый фрагмент статьи