ПОЛУЧЕНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛОЕВ ОКСИДОВ МЕТАЛЛОВ ЗОЛЬ-ГЕЛЬ МЕТОДОМ (2024)
Представлен обзор основных приемов и подходов при получении полупроводниковых оксидных структур на стеклянной подложке золь-гель методом. Обобщены и описаны основные стадии получения прекурсоров, приготовления и нанесения золя, получения проводникового покрытия, применимые для такого рода материалов. Экспериментально получены и охарактеризованы образцы на основе диоксида олова.