SciNetwork

Ключевая фраза: реактивно-ионное травление

Ниже приведен список материалов, найденных в базе данных SciNetwork, с ключевым словом «реактивно-ионное травление».
Статьи: 1
01.О ПРИМЕНИМОСТИ 0-МЕРНОЙ (ГЛОБАЛЬНОЙ) МОДЕЛИ ДЛЯ ОПИСАНИЯ ПЛАЗМЫ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА В РЕАКТОРАХ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ (2024)
Сохранить в закладках
Журнал:
УСПЕХИ КИБЕРНЕТИКИ
Автор(ы):
Ефремов А. М., Смирнов С. А., Бетелин В. Б.
SciNetwork