Ключевая фраза: ионная литография

Ниже приведен список материалов, найденных в базе данных SciNetwork, с ключевым словом «ионная литография».

SCI Библиотека: 3

01.Книга: Материалы и методы нанотехнологий (2015)

Автор(ы):

В. В. Старостин

02.Книга: Материалы и методы нанотехнологий (2012)

Автор(ы):

Старостин В. В.

03.Книга: Процессы микро- и нанотехнологии (2004)

Автор(ы):

Т. И. Данилина, К. И. Смирнова