Ключевая фраза: объемный самостоятельный разряд

Материалы

Ниже приведен список материалов, найденных в базе данных SciNetwork, с ключевым словом «объемный самостоятельный разряд».

Статьи: 1

01.Конверсия SiF4 во фторсиланы и моносилан в плазме объемного самостоятельного разряда (2014)

Сохранить в закладках

Журнал:

ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Автор(ы):

Аксинин В. И., Казанцев С. Ю., Кононов И. Г., Кудрявцев Е. М., Орлов А. А., Подлесных С. В., Фирсов К. Н., Хорозова О. Д.